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中国科学院微电子研究所孟繁昌获国家专利权

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龙图腾网获悉中国科学院微电子研究所申请的专利测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115272442B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202110477661.3,技术领域涉及:G06T7/60;该发明授权测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质是由孟繁昌;张滋黎;王棚;纪荣祎;王国名;崔成君;张佳;董登峰;周维虎设计研发完成,并于2021-04-29向国家知识产权局提交的专利申请。

测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质在说明书摘要公布了:本公开提供了一种测量球形微凸点高度的装置和方法,该装置包括:运动平台、照明模块、成像模块、控制和运算中心。将衬底固定在运动平台上;打开照明模块并将平行光束投射到衬底表面;控制和运算中心控制运动平台按照预设轨迹运动;成像模块采集经球形微凸点反射后的平行光束并生成图像;控制和运算中心获取图像并根据图像计算球形微凸点的高度。本公开通过分析球形微凸点位于不同位置时的光照模型,总结出测量球形微凸点过程中相对不变特征,建立了球形微凸点高度视觉测量模型,能够实现高精度球形微凸点高度测量。并且本公开提出的球形微凸点高度测量模型适用于绝大部分芯片封装过程中微凸点类型,满足了芯片封装过程中微凸点检测需求。

本发明授权测量球形微凸点高度的装置、方法、电子设备和存储介质在权利要求书中公布了:1.一种测量球形微凸点高度的装置,所述球形微凸点10附着于衬底3上,所述衬底3上附着有至少一个所述球形微凸点10,其特征在于,包括: 运动平台4,用于固定所述衬底3并带动所述衬底3按预设轨迹运动; 照明模块1,用于产生平行光束,所述平行光束照射到所述球形微凸点10上,经所述球形微凸点10反射后形成反射光束; 成像模块2,用于采集所述反射光束,并根据所述反射光束生成图像; 控制和运算中心7,用于控制所述照明模块1和所述成像模块2的工作参数,以及获取所述图像,并根据所述图像计算所述球形微凸点10的高度,所述高度基于所述图像中球形微凸点10底部上的对应点D′确定,所述对应点D′基于圆弧圆拟合方法得到; 其中,所述球形微凸点10的高度h由球形微凸点高度视觉测量模型确定,所述球形微凸点高度视觉测量模型为: 其中,表示所述图像中P'D'两点之间的距离,P'表示经球形微凸点顶点P反射后的光 线在相机成像平面中的成像,表示与球形微凸点相切的光线d在相机成像平面中的成 像,r表示所述图像中所述球形微凸点10的半径,表示入射光线与所述球形微凸点10 相切的光线的夹角。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人中国科学院微电子研究所,其通讯地址为:100029 北京市朝阳区北土城西路3号;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

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