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龙图腾网获悉甘肃省老兵科技研发有限公司申请的专利一种芯片光刻机的光刻版取料装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121247451B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511819045.6，技术领域涉及：B65G47/91；该发明授权一种芯片光刻机的光刻版取料装置是由马振华;文康;曹丽萍;张万财设计研发完成，并于2025-12-04向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种芯片光刻机的光刻版取料装置在说明书摘要公布了：本发明公开了一种芯片光刻机的光刻版取料装置，具体涉及取料运输技术领域，包括取料盘、多个吸盘、前部条、斜插杆、移动座、驱动件以及限制件，吸盘用于吸取光刻版并进行运输；前部条位于吸盘的一侧，前部条上安装有驱动件；斜插杆设置在前部条的一侧，斜插杆外壁上设有限制件，斜插杆的一侧设有移动座。本发明采用自检件和驱动件以及限制件联动控制，杜绝人为强制误取料运输，避免人员因素难以完全把控，杜绝此类不合规的取料运输情况，从而解决了错因操作环节复杂、人员因素难以完全把控，仍难以杜绝此类不合规的取料运输情况的问题。

本发明授权一种芯片光刻机的光刻版取料装置在权利要求书中公布了：1.一种芯片光刻机的光刻版取料装置，包括取料盘及设于其下方的多个吸盘，其特征在于：所述吸盘用于吸取光刻版并进行运输； 前部条，位于吸盘的一侧，前部条上安装有驱动件； 斜插杆，设置在前部条的一侧，斜插杆外壁上设有限制件，斜插杆的一侧设有移动座； 间隔件，安装在斜插杆的上表面，间隔件与多个吸盘相连接，间隔件包括： 滑套块，固定于斜插杆的上表面，滑套块用于沿取料盘内壁滑动； 导杆，安装在滑套块的内壁，导杆与取料盘之间固定连接，导杆用于导向滑套块滑动； 联动条，固定在滑套块的上表面，联动条的顶端固定有抬升框； 联动杆，滑动于抬升框的内壁，抬升框倾斜设置，抬升框用于挤压联动杆，使得联动杆上移； 槽杆，固定在联动杆的一端部，槽杆的底端固定有环管，环管的下表面固定连通有多个吸管，吸管与取料盘之间滑动连接，吸管与吸盘之间相连通； 自检件，设置在取料盘的外壁； 自检件用于检测光刻版型号，当型号不符合设定型号，则通过驱动件驱动前部条旋转，以限制取料盘的前部下移； 前部条旋转时挤压斜插杆，使斜插杆插入移动座内部，并通过斜插杆驱动限制件插入移动座内部，以限制取料盘的后部下移； 所述斜插杆同时带动间隔件移动，使多个吸盘与光刻版之间的间隔距离变大。

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