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龙图腾网获悉常州元晶摩尔微电子有限公司申请的专利一种单向阀及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121251853B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511803100.2，技术领域涉及：F16K15/08；该发明授权一种单向阀及其制备方法是由刘子仪;费跃;全雪;蔡金东;陈思奇;王焕焕;范文轩;葛斌设计研发完成，并于2025-12-03向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种单向阀及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种单向阀及其制备方法，单向阀包括：第一基板、中间基板和第二基板；第一基板设置有第一通孔；中间基板与第一基板连接；中间基板设置有第二通孔；在垂直于第一基板的方向上，第一通孔的轮廓位于第二通孔的轮廓之内；第二基板位于中间基板远离第一基板的一侧，第二基板包括外围子基板、阀芯体和弹簧连接体；外围子基板与中间基板连接，阀芯体与外围子基板通过弹簧连接体连接；阀芯体和弹簧连接体在第一基板上的垂直投影区域位于第二通孔在第一基板的垂直投影区域之内，第一通孔在第二基板上的垂直投影位于阀芯体内。本发明提供的单向阀工艺简单，成本低廉。

本发明授权一种单向阀及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种单向阀，其特征在于，包括：第一基板、中间基板和第二基板； 所述第一基板设置有第一通孔；所述中间基板位于所述第一基板的一侧，并与所述第一基板连接；所述中间基板设置有第二通孔，所述第二通孔的直径大于所述第一通孔的直径；在垂直于所述第一基板的方向上，所述第一通孔的轮廓位于所述第二通孔的轮廓之内； 所述第二基板位于所述中间基板远离所述第一基板的一侧，所述第二基板包括外围子基板、阀芯体和弹簧连接体；所述外围子基板与所述中间基板连接，所述外围子基板环绕所述阀芯体，所述阀芯体与所述外围子基板通过所述弹簧连接体连接； 所述阀芯体和所述弹簧连接体在所述第一基板上的垂直投影区域位于所述第二通孔在所述第一基板的垂直投影区域之内，所述第一通孔在所述第二基板上的垂直投影位于所述阀芯体内； 在流体沿所述第二基板指向所述第一基板的方向上流动时，所述阀芯体沿所述第二基板指向所述第一基板的方向上移动，并与所述第一基板接触阻断流体流动；在流体沿所述第一基板指向所述第二基板的方向上流动时，所述阀芯体沿所述第一基板指向所述第二基板的方向上移动，所述流体流通； 所述第二基板远离所述中间基板的一侧还设置有镂空处； 所述阀芯体和所述弹簧连接体在所述第一基板上的垂直投影区域位于所述镂空处在所述第一基板上的垂直投影区域之内，所述镂空处暴露所述阀芯体和所述弹簧连接体； 所述阀芯体的厚度小于所述外围子基板的厚度； 所述第一基板靠近所述中间基板的一面设置有第一键合连接层，所述中间基板靠近所述第一基板的一面以及所述中间基板靠近所述第二基板的一面设置有第二键合连接层，所述外围子基板靠近所述中间基板的一面设置有第三键合连接层，所述阀芯体靠近所述第一基板的一面设置有所述第三键合连接层； 所述第一基板靠近所述中间基板的一面的第一键合连接层与所述中间基板靠近所述第一基板的一面的第二键合连接层用于键合连接；所述中间基板靠近所述第二基板的一面的第二键合连接层与所述外围子基板靠近所述中间基板的一面的第三键合连接层用于键合连接；所述阀芯体靠近所述第一基板的一面的第三键合连接层用于在所述阀芯体沿所述第二基板指向所述第一基板的方向上移动时，与所述第一基板靠近所述中间基板的一面的第一键合连接层密封连接； 所述第一键合连接层包括第一聚二甲基硅氧烷层；所述第二键合连接层包括第二聚二甲基硅氧烷层；所述第三键合连接层包括第三聚二甲基硅氧烷层。

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