深圳扩维原子科技有限公司黄玉峰获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳扩维原子科技有限公司申请的专利一种基于桌面式团簇设备开发的溅射器结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223884393U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520527101.8，技术领域涉及：H01J37/08；该实用新型一种基于桌面式团簇设备开发的溅射器结构是由黄玉峰;陈艺章;贝茂阳;李好强;刘红宇;周松设计研发完成，并于2025-03-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种基于桌面式团簇设备开发的溅射器结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及真空设备技术领域，具体公开了一种基于桌面式团簇设备开发的溅射器结构，包括：安装在安装座上端的溅射器，溅射器设置为圆锥形结构，溅射器的上端开设有通孔，安装座的上端连接有绝缘板，溅射器位于绝缘板的内部，绝缘板的内部还开设有凹槽，凹槽延伸至安装座的内部，凹槽的内部安装有绝缘套；本实用新型设置的负电压的溅射器与0V的安装座形成梯度电场，结合内部圆锥形结构优化离子束聚焦，减少散射和能量损失，同时利用绝缘套和密封垫圈设计保障装置的密封性和绝缘性能，溅射器的能够支持快速拆装，显著提高了维护效率，同时该装置还支持在低温和真空环境下使用，该装置不仅满足了团簇束流系统对离子束分离和传输的高精度要求。
本实用新型一种基于桌面式团簇设备开发的溅射器结构在权利要求书中公布了：1.一种基于桌面式团簇设备开发的溅射器结构，其特征在于，包括：安装在安装座1上端的溅射器3，所述溅射器3设置为圆锥形结构，所述溅射器3的上端开设有通孔，所述安装座1的上端连接有绝缘板2，所述溅射器3位于所述绝缘板2的内部，所述绝缘板2的内部还开设有凹槽，所述凹槽延伸至安装座1的内部，所述凹槽的内部安装有绝缘套4。
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