颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司郭振获国家专利权
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龙图腾网获悉颀中科技(苏州)有限公司;合肥颀中科技股份有限公司申请的专利晶圆承载装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223885617U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520338153.0，技术领域涉及：H10P72/70；该实用新型晶圆承载装置是由郭振设计研发完成，并于2025-02-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆承载装置在说明书摘要公布了：本实用新型揭示了一种晶圆承载装置，包括支撑结构、设置于所述支撑结构的吸盘以及设置于所述吸盘的密封圈，所述支撑结构设有抽真空通道，所述吸盘设有连通所述抽真空通道的吸盘气道、用以固定所述密封圈的第一固定槽和第二固定槽，所述第一固定槽、第二固定槽和所述吸盘三者共圆心设置；至少部分所述吸盘气道位于所述第一固定槽的内侧，所述第一固定槽的直径小于所述第二固定槽的直径；适配于承载两种不同尺寸的晶圆，提高晶圆承载装置应用的多样性；且适配较大尺寸的晶圆时，相当于有两圈密封圈吸附固定，改善吸附异常。
本实用新型晶圆承载装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆承载装置，其特征在于，包括支撑结构、设置于所述支撑结构的吸盘以及设置于所述吸盘的密封圈，所述支撑结构设有抽真空通道，所述吸盘设有连通所述抽真空通道的吸盘气道、用以固定所述密封圈的第一固定槽和第二固定槽，所述第一固定槽、第二固定槽和所述吸盘三者共圆心设置；至少部分所述吸盘气道沿吸盘的径向位于所述第一固定槽的内侧，所述第一固定槽的直径小于所述第二固定槽的直径。
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