翔名科技股份有限公司吴宗丰获国家专利权
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龙图腾网获悉翔名科技股份有限公司申请的专利静电吸盘表面结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223885618U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422873218.X，技术领域涉及：H10P72/72；该实用新型静电吸盘表面结构是由吴宗丰;邱国扬;林佳德;陈柏翰;黄柏嘉设计研发完成，并于2024-11-25向国家知识产权局提交的专利申请。
本静电吸盘表面结构在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造过程中使用的一种静电吸盘表面结构。该表面结构包括一个基材，一个设置在基材上的第一保护涂层，以及一个设置在第一保护涂层上的第二保护涂层。第一保护涂层是沉积在基材上的，由金属氧化物、氟化物和氮化物组成的群组中选择的材料制成。它作为一种通用的保护屏障，对抗磨损、腐蚀和热效应。第二保护涂层是沉积在第一保护涂层上的，其硬度高于第一保护涂层，提供了增强的耐磨性。
本实用新型静电吸盘表面结构在权利要求书中公布了：1.一种静电吸盘表面结构，其特征在于，包括： 一基材； 一第一保护涂层，设置在所述基材的一表面上；及 一第二保护涂层，设置在所述第一保护涂层上； 其中，所述第二保护涂层的硬度大于所述第一保护涂层的硬度，且所述第二保护涂层的孔隙率小于1%。
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