北京华卓精科科技股份有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉北京华卓精科科技股份有限公司申请的专利晶圆吸盘及晶圆键合设备获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223885624U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-06发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423321983.7,技术领域涉及:H10P72/78;该实用新型晶圆吸盘及晶圆键合设备是由请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆吸盘及晶圆键合设备在说明书摘要公布了:本实用新型涉及吸盘技术领域,具体而言,涉及一种晶圆吸盘及晶圆键合设备。晶圆吸盘的承载面设有吸附区域、抽气区域和密封环,吸附区域用于吸附晶圆,密封环环绕吸附区域设置,抽气区域位于密封环与吸附区域之间;吸附区域设有第一气道,抽气区域设有第二气道,第一气道和第二气道均用于连通真空气源;两个晶圆吸盘的密封环对接,能够在密封环的内侧形成密闭空间。晶圆键合设备包括上述晶圆吸盘。本实用新型提供的晶圆吸盘及晶圆键合设备,可减少晶圆键合时产生的空洞,提高键合力及键合良率,且具备极高的真空建立效率。
本实用新型晶圆吸盘及晶圆键合设备在权利要求书中公布了:1.一种晶圆吸盘,其特征在于,所述晶圆吸盘100的承载面设有吸附区域、抽气区域和密封环110,所述吸附区域用于吸附晶圆200,所述密封环110环绕所述吸附区域设置,所述抽气区域位于所述密封环110与所述吸附区域之间; 所述吸附区域设有第一气道,所述抽气区域设有第二气道,所述第一气道和所述第二气道均用于连通真空气源300;两个所述晶圆吸盘100的所述密封环110对接,能够在所述密封环110的内侧形成密闭空间。
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