ASM IP私人控股有限公司卢载旻获国家专利权
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龙图腾网获悉ASM IP私人控股有限公司申请的专利基板支撑组件及包括其的基板处理装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112216646B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202010516745.9，技术领域涉及：H10P72/76；该发明授权基板支撑组件及包括其的基板处理装置是由卢载旻;李主日;朴健溶设计研发完成，并于2020-06-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本基板支撑组件及包括其的基板处理装置在说明书摘要公布了：一种布置在室中的基板支撑组件包括：支撑板，包括基板安置在其上的第一表面；驱动器，配置成使支撑板倾斜，使得第一表面相对于基准表面倾斜下倾斜角度；以及控制器，配置成控制驱动器，使得基于由联接到室的上表面的气体供应器相对于基准表面的倾斜形成的上倾斜角度来调节下倾斜角度。
本发明授权基板支撑组件及包括其的基板处理装置在权利要求书中公布了：1.一种布置在室中的基板支撑组件，所述基板支撑组件包括： 支撑板，包括基板安置在其上的第一表面； 驱动器，配置成使支撑板倾斜，使得第一表面相对于基准表面以大于0度小于90度的下倾斜角度倾斜，以形成所述下倾斜角度；以及 控制器，配置成控制驱动器，使得基于由联接到室的上表面的气体供应器相对于基准表面的倾斜形成的大于0度且小于90度的上倾斜角度来调节下倾斜角度， 其中，所述基准表面是所述室的底表面， 其中，所述驱动器包括： 马达； 连杆单元，其连接到马达并且配置成在竖直方向上被驱动； 倾斜板，其连接到连杆单元；以及 连接臂，其从倾斜板延伸并联接到支撑板， 所述基板支撑组件还包括： 下角度传感器，其配置为测量下倾斜角度；以及 上角度传感器，其配置为测量上倾斜角度， 其中所述控制器被配置为与下角度传感器和上角度传感器通信； 其中所述控制器还配置为实时确定所述下倾斜角度与上倾斜角度之间的差值是否不在预定误差范围内； 其中所述控制器还配置为在所述差值不在预定误差范围内时实时控制所述驱动器调节所述下倾斜角度；以及 其中所述下角度传感器将测量到的下倾斜角度实时传递给所述控制器。
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