三星电子株式会社金成吉获国家专利权
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龙图腾网获悉三星电子株式会社申请的专利三维半导体装置及其制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN112420723B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202010836465.6,技术领域涉及:H10B43/00;该发明授权三维半导体装置及其制造方法是由金成吉;金成珍;金智美;金廷奂;金赞炯设计研发完成,并于2020-08-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本三维半导体装置及其制造方法在说明书摘要公布了:一种三维半导体装置,包括:导电层,其位于衬底上并且包括第一导电类型的杂质;基体层,其位于导电层上;堆叠件,其包括下绝缘膜以及位于下绝缘膜上的栅电极和模制绝缘层,其中,基体层包括高介电材料;竖直结构,其包括穿过堆叠结构的竖直沟道层和设置在竖直沟道层与多个栅电极之间的竖直绝缘层,竖直结构在绝缘基体层中具有在宽度方向上延伸的延伸区域;以及隔离结构,其穿过堆叠结构、绝缘基体层和导电层,并且在与衬底的上表面平行的方向上延伸,其中,导电层具有延伸部分,延伸部分在竖直结构的延伸区域中沿着竖直沟道层的表面延伸。
本发明授权三维半导体装置及其制造方法在权利要求书中公布了:1.一种三维半导体装置,包括: 导电层,其设置在衬底上,并且包括第一导电类型的杂质; 绝缘基体层,其设置在所述导电层上; 堆叠结构,其包括设置在所述绝缘基体层上的下绝缘膜以及交替地堆叠在所述下绝缘膜上的多个栅电极和多个模制绝缘层,其中,所述绝缘基体层包括高介电材料; 竖直结构,其包括穿过所述堆叠结构的竖直沟道层和设置在所述竖直沟道层与所述多个栅电极之间的竖直绝缘层,所述竖直结构在所述绝缘基体层中具有在宽度方向上延伸的延伸区域;以及 隔离结构,其穿过所述堆叠结构、所述绝缘基体层和所述导电层,并且在与所述衬底的上表面平行的方向上延伸, 其中,所述导电层具有延伸部分,所述延伸部分在所述竖直结构的延伸区域中接触所述竖直沟道层的底部并且从所述竖直沟道层的底部沿着所述竖直沟道层的表面延伸。
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