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龙图腾网获悉罗伯特·博世有限公司申请的专利用于制造微机械结构的方法和微机械结构获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113548637B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110441526.3，技术领域涉及：B81C1/00；该发明授权用于制造微机械结构的方法和微机械结构是由A·乌尔班;J·赖因穆特;L·富克斯;T·弗里德里希设计研发完成，并于2021-04-23向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于制造微机械结构的方法和微机械结构在说明书摘要公布了：本发明提出一种用于制造微机械结构的方法和一种微机械结构。所述方法包括以下步骤：形成第一微机械功能层5；在所述第一微机械功能层5中形成多个沟槽7，所述沟槽具有所述第一微机械功能层5的上侧O处的扩宽的上部区域7a和带有基本上恒定的宽度的下部区域7b；在所述第一微机械功能层5的上侧O上沉积密封层8，以用于密封所述多个沟槽7，其中，在所述第一微机械功能层5的上侧O下方形成所述多个沟槽7的密封点P，并且至少部分地填充第一沟槽7；将所述密封层8减薄预给定的厚度d；在减薄的密封层8‘上方形成第二微机械功能层13。

本发明授权用于制造微机械结构的方法和微机械结构在权利要求书中公布了：1.一种用于制造微机械结构的方法，所述方法具有以下步骤： 形成第一微机械功能层5； 在所述第一微机械功能层5中形成多个沟槽7，所述沟槽具有所述第一微机械功能层5的上侧O处的扩宽的上部区域7a并且具有下部区域7b，所述下部区域具有基本上恒定的宽度； 在所述第一微机械功能层5的上侧O上沉积密封层8，以用于密封所述多个沟槽7，其中，在所述第一微机械功能层5的上侧O下方形成所述多个沟槽7的密封点P，并且至少部分地填充第一沟槽7； 将所述密封层8减薄预给定的厚度d；d‘； 在减薄的密封层8‘上方形成第二微机械功能层13， 其中，形成所述多个沟槽7具有以下步骤： 在所述第一微机械功能层5的上侧O处形成掩模层6，所述掩模层具有与待形成的多个第一沟槽7相对应的掩模开口6a，其中，所述掩模开口6a的宽度b与待形成的所述多个沟槽7在所述下部区域7b中的基本上恒定的宽度相对应； 执行各向同性的蚀刻工艺以用于在所述第一微机械功能层5的上侧O处形成所述扩宽的上部区域7a，其中，对所述掩模开口6a进行掏蚀； 执行各向异性的蚀刻工艺以用于形成具有基本上恒定的宽度的所述下部区域7b； 去除所述掩模层6。

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