广州南砂晶圆半导体技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉广州南砂晶圆半导体技术有限公司申请的专利晶圆取片装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223899673U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423180818.4,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型晶圆取片装置是由请求不公布姓名;张木青;请求不公布姓名设计研发完成,并于2024-12-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆取片装置在说明书摘要公布了:本申请实施例提供了晶圆取片装置,包括取片机构和承载机构;取片机构用于压在抛光工件的孔位外周;取片机构包括取片轨道和喷液件;取片轨道的内径和待取晶圆的直径相适配;喷液件的出液口朝向取片轨道的出口设置,用于向晶圆喷液,以使晶圆在液体的冲力作用下沿取片轨道向其出口方向移动;承载机构设置于取片轨道的出口,用于承载花篮;花篮用于装载晶圆。通过本申请实施例的设置,提供了便于取片,且能够对晶圆起到保护作用的晶圆取片装置。
本实用新型晶圆取片装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆取片装置,其特征在于,包括取片机构和承载机构; 所述取片机构,用于压在抛光工件的孔位外周; 所述取片机构包括取片轨道和喷液件; 所述取片轨道的内径和待取晶圆的直径相适配; 所述喷液件的出液口朝向所述取片轨道的出口设置,用于向所述晶圆喷液,以使所述晶圆在液体的冲力作用下沿所述取片轨道向其出口方向移动; 所述承载机构设置于所述取片轨道的出口,用于承载花篮;所述花篮用于装载晶圆。
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