杭州星原驰半导体有限公司魏静仪获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州星原驰半导体有限公司申请的专利一种可多维度运动的自转式晶圆运动装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223899678U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520184331.9，技术领域涉及：H10P72/76；该实用新型一种可多维度运动的自转式晶圆运动装置是由魏静仪;齐彪;邵大立;史皓然;段琦琪;刘子婵;李浩源;陆淋康设计研发完成，并于2025-02-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可多维度运动的自转式晶圆运动装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种可多维度运动的自转式晶圆运动装置，包括升降机构、机械臂旋转机构、托盘自旋机构、真空腔体、反应单元和晶圆架，机械臂旋转机构和托盘自旋机构均安装在真空腔体内部，托盘自旋机构固定在机械臂旋转机构上，晶圆架安装在托盘自旋机构上方，反应单元安装在真空腔体的顶部；机械臂旋转机构包括托盘、升降轴和安装在升降轴顶部的动力装置，托盘安装在真空腔体内部，托盘自旋机构安装在托盘顶部，升降轴安装在托盘远离托盘自旋机构的一端，升降机构安装在真空腔体的顶部，升降机构与升降轴转动连接，解决了现有的晶圆运动装置精度与稳定性不足，速率与效率不够高效的问题。
本实用新型一种可多维度运动的自转式晶圆运动装置在权利要求书中公布了：1.一种可多维度运动的自转式晶圆运动装置，包括升降机构1、机械臂旋转机构2、托盘自旋机构3、真空腔体4、反应单元5和晶圆架6，其特征在于，所述机械臂旋转机构2和托盘自旋机构均安装在所述真空腔体4内部，所述托盘自旋机构3固定在所述机械臂旋转机构2上，所述晶圆架6安装在所述托盘自旋机构3上方，所述反应单元5安装在所述真空腔体4的顶部，所述真空腔体4的顶部开设有与所述晶圆架6相对应的贯穿孔，所述反应单元5的底部开口处与所述贯穿孔相对应；所述机械臂旋转机构2包括托盘、升降轴103和安装在升降轴103顶部的动力装置，所述托盘安装在真空腔体4内部，所述托盘自旋机构3安装在托盘顶部，所述升降轴103安装在所述托盘远离托盘自旋机构3的一端，所述升降机构1安装在所述真空腔体4的顶部，所述升降机构1与所述升降轴103转动连接。
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