贵州华龙电子设备有限公司张松获国家专利权
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龙图腾网获悉贵州华龙电子设备有限公司申请的专利晶圆片甩干固定装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223899683U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-10发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520349414.9,技术领域涉及:H10P72/76;该实用新型晶圆片甩干固定装置是由张松;陶德华设计研发完成,并于2025-03-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆片甩干固定装置在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种晶圆片甩干固定装置,属于半导体芯片加工设备领域。它包括限位装置1和顶压装置2;限位装置1由固定连接在顶盘1‑1与底盘1‑5之间的两根前限位柱1‑7、两根侧限位柱1‑6和两根后限位柱1‑3构成,顶盘1‑1上开设有窗口1‑2;顶压装置2由转动安装在顶盘1‑1与底盘1‑5之间的双头螺柱2‑2、安装在该双头螺柱上的两个螺母2‑1、与两个螺母2‑1铰接的剪叉架2‑4、与该剪叉架活动连接的立柱2‑5、固定在该立柱上的两块安装板2‑6、固定在两块安装板2‑6上的两根压杆2‑3构成,分布于双头螺柱2‑2的两段螺纹旋向相反。
本实用新型晶圆片甩干固定装置在权利要求书中公布了:1.一种晶圆片甩干固定装置,包括限位装置1和顶压装置2;其特征在于:限位装置1由固定连接在顶盘1-1与底盘1-5之间的两根前限位柱1-7、两根侧限位柱1-6和两根后限位柱1-3构成,顶盘1-1上开设有窗口1-2;顶压装置2由转动安装在顶盘1-1与底盘1-5之间的双头螺柱2-2、安装在该双头螺柱上的两个螺母2-1、与两个螺母2-1铰接的剪叉架2-4、与该剪叉架活动连接的立柱2-5、固定在该立柱上的两块安装板2-6、固定在两块安装板2-6上的两根压杆2-3构成,分布于双头螺柱2-2上的两段螺纹旋向相反。
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