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龙图腾网获悉盛吉盛精密制造(绍兴)有限公司申请的专利一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116694239B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310603423.1，技术领域涉及：C09J5/02；该发明授权一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备是由王卫良;李士昌;刘超平;蒋建新设计研发完成，并于2023-05-25向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备在说明书摘要公布了：本发明公开了一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备，英吸盘包括片状的吸盘上板和片状的吸盘下板；吸盘下板的上端面上成型有出气流导槽；出气流导槽的底面上成型有若干上下开口的倾斜出气孔；吸盘上板通过无机胶水粘合在吸盘下板的上端面上；石英吸盘加工时首先在吸盘下板的一个表面上加工出气流导槽和倾斜出气孔、在吸盘上板上加工出进气孔，然后通过无机胶水粘合吸盘下板和吸盘上板，最后进行烧结，这样的加工方式气道加工方便，同时吸盘整体的厚度较薄，可以适应狭小的工作环境；同时通过烧结的方式使得吸盘耐高温；无机胶水的使用不光增加了吸盘整体强度，同时无机胶水不会产生小颗粒，避免小颗粒刮伤硅片。

本发明授权一种非接触式石英吸盘的制作工艺及其加工设备在权利要求书中公布了：1.一种加工非接触式石英吸盘的设备，其特征在于：包括用于研磨吸盘上板11的上下表面和吸盘下板12的上下表面的研磨机20、用于把吸盘上板11定位在吸盘下板12的正上方的粘合定位装置30； 所述研磨机20包括机架21、设置在所述机架21上的研磨座22和研磨机构；所述研磨座22的上端面上设置有圆柱槽状的研磨槽220；所述研磨槽220内设置有上板支撑座27、下板支撑座26和工件驱动组件；所述工件驱动组件用于驱动上板支撑座27和下板支撑座26以所述研磨槽220的旋转中心轴为轴公转并且以自身旋转中心轴为轴进行自转；所述上板支撑座27的上端面上设置有供所述吸盘上板11水平状态竖直插入的上板放置槽270；所述下板支撑座26的上端面上设置有供吸盘下板12水平状态竖直插入的下板安置槽260； 所述粘合定位装置30包括工装支撑座31和上板支撑机构；所述工装支撑座31的上端面上成型有供所述吸盘下板12水平状态竖插入的下板安置槽3100；所述工装支撑座31的上端面上成型有定位支撑座32；所述定位支撑座32靠近下板安置槽3100的竖直端面上成型有上下开口的竖直滑行槽320；所述竖直滑行槽320的下端与所述下板安置槽3100连通；所述竖直滑行槽320供吸盘上板11的上夹持把手111和吸盘下板12的下夹持把手121竖直滑行；所述上板支撑机构包括水平托底组件和吸盘上板端部限位组件；所述水平托底组件用于托住吸盘上板11；所述吸盘上板端部限位组件正对竖直滑行槽320并且与竖直滑行槽320配合定位吸盘上板11。

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