乐山市航达储能科技有限公司邹杰获国家专利权
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龙图腾网获悉乐山市航达储能科技有限公司申请的专利一种显影蚀刻机在线检测装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223902384U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202423001314.1,技术领域涉及:B07C5/00;该实用新型一种显影蚀刻机在线检测装置是由邹杰;邹林设计研发完成,并于2024-12-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种显影蚀刻机在线检测装置在说明书摘要公布了:本申请公开了一种显影蚀刻机在线检测装置,包括检测架,检测架上设置有检测传送模组和升降调节板,检测传送模组上设置有若干升降模组,各升降模组上均设置有用于承载待检测基板的托盘;升降调节板上设置有用于升降模组接触,以控制托盘在进料端上升接取待检测基板,在出料端下降释放待检测基板;检测架的入口端设置有进料传送模组,出口端设置有出料传送模组;本申请通过升降调节板与升降模组控制基板的高度位置,在高度提升和下降的过程中,基板在水平方向的移动速度得到控制,从而调节基板的运送速度,同时托盘始终处于连续工作的状态,即基板将不断向前移动,从而保证整个系统的连续运行,兼顾一体式和分体式设备的优点,提高了生产效率。
本实用新型一种显影蚀刻机在线检测装置在权利要求书中公布了:1.一种显影蚀刻机在线检测装置,其特征在于,包括检测架1; 检测传送模组,所述检测传送模组设置于所述检测架1上,所述检测传送模组上设置有若干升降模组,各所述升降模组上均设置有用于承载待检测基板的托盘2; 升降调节板3,升降调节板3设置于所述检测架1上,所述升降调节板3上与所述升降模组接触,以控制所述托盘2在进料端上升接取待检测基板,在出料端下降释放待检测基板; 所述升降调节板3的顶面为用于控制所述托盘2高低位置的升降调节面301; 所述升降调节面301包括上升段3011、检测段3012和下降段3013,所述上升段3011、检测段3012和下降段3013平滑相连;所述检测段3012水平设置,所述上升段3011用于控制所述托盘2在进料端上升接取待检测基板,所述下降段3013用于控制所述托盘2在出料端下降释放待检测基板; 进料传送模组,所述进料传送模组设置于所述检测架1的入口端;所述检测架1的出口端还设置有出料传送模组。
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