重庆戴姆特机电有限公司张旭获国家专利权
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龙图腾网获悉重庆戴姆特机电有限公司申请的专利一种对多个产品同时检测的半导体晶圆翘曲度测量仪获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223902413U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520374177.1,技术领域涉及:B07C5/34;该实用新型一种对多个产品同时检测的半导体晶圆翘曲度测量仪是由张旭设计研发完成,并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种对多个产品同时检测的半导体晶圆翘曲度测量仪在说明书摘要公布了:本实用新型公开了一种对多个产品同时检测的半导体晶圆翘曲度测量仪,属于翘曲度测量仪技术领域。包括输送机和支撑架,所述输送机的外部设置有支撑架,所述支撑架的外部设置有横向移动支架,所述横向移动支架的外部设置有纵向移动支架,所述支撑架的上方设置有等间距的四组吸盘。本实用新型不仅实现了翘曲度测量仪对半导体晶圆便捷的进行中心定位夹持摆正,方便了对多组半导体晶圆进行测量,缩短了翘曲度测量仪多组之间测量的时间,提高了翘曲度测量仪测量的效率,提高了翘曲度测量仪对半导体晶圆分类输送的便利性。
本实用新型一种对多个产品同时检测的半导体晶圆翘曲度测量仪在权利要求书中公布了:1.一种对多个产品同时检测的半导体晶圆翘曲度测量仪,其特征在于:包括输送机和支撑架,所述输送机的外部设置有支撑架,所述支撑架的外部设置有横向移动支架,所述横向移动支架的外部设置有纵向移动支架,所述支撑架的上方设置有等间距的四组吸盘,所述吸盘的外部设置有旋转盘,所述旋转盘的外部设置有两组支撑柱,所述支撑柱的侧壁上皆安装有翘曲度测量仪本体,所述翘曲度测量仪本体的外部设置有顶板,所述支撑柱的外部设置有第一输出机,所述第一输出机的侧壁上安装有控制面板,所述第一输出机的外部设置有第二输出机,所述输送机的侧壁上对称安装有第一气缸,所述第一气缸的输出端皆安装有弹性夹板。
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