浙江瞻芯电子科技有限公司杨辰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江瞻芯电子科技有限公司申请的专利一种光刻版清洁治具获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223902526U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520175682.3，技术领域涉及：B08B5/02；该实用新型一种光刻版清洁治具是由杨辰;余壮杰;丁旭;唐林健设计研发完成，并于2025-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻版清洁治具在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光刻版清洁治具，其特征在于，包括底座、设置于所述底座上的放置台、除尘组件、吸取组件、显尘组件；其中所述放置台位于所述底座的一端，顶部具有放置空间，收容有所述光刻版的版盒以水平姿态放于所述放置空间内；所述吸取组件包括自所述底座的另一端沿所述底座的长度方向延伸的移动导轨、以及设置于所述移动导轨上、朝向所述放置台伸出的取版手臂；所述除尘组件在所述底座的长度方向上位于所述底座的中部；并且所述取版手臂可沿所述移动导轨自所述底座的另一端移动伸入所述放置空间内、吸取所述版盒内的所述光刻版并带动所述光刻版往复经过所述除尘组件。
本实用新型一种光刻版清洁治具在权利要求书中公布了：1.一种光刻版清洁治具，其特征在于，包括底座、设置于所述底座上的放置台、除尘组件、以及吸取组件；其中所述放置台位于所述底座的一端，顶部具有放置空间，收容有所述光刻版的版盒以水平姿态放于所述放置空间内； 所述吸取组件包括自所述底座的另一端沿所述底座的长度方向延伸的移动导轨、以及设置于所述移动导轨上、朝向所述放置台伸出的取版手臂； 所述除尘组件在所述底座的长度方向上位于所述底座的中部；并且所述取版手臂可沿所述移动导轨自所述底座的另一端移动伸入所述放置空间内、吸取所述版盒内的所述光刻版并带动所述光刻版往复经过所述除尘组件。
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