浙江瞻芯电子科技有限公司杨辰获国家专利权
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龙图腾网获悉浙江瞻芯电子科技有限公司申请的专利一种光刻版清洁台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223902588U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520175686.1，技术领域涉及：B08B13/00；该实用新型一种光刻版清洁台是由杨辰;孙旭鹏;刘佳乐设计研发完成，并于2025-01-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种光刻版清洁台在说明书摘要公布了：本申请涉及一种光刻版清洁台，包括：光刻版载台，光刻版载台的上表面设置有固定支撑组件、以及可调支撑组件；固定支撑组件包括一对角部支撑件、以及一对侧部支撑件，其中，一对角部支撑件分别设置于光刻版载台的一侧边缘的相背角部、固定于光刻版载台的上表面且向上突出，一对侧部支撑件分别设置于光刻版载台的一侧边缘相邻的两侧边缘、固定于光刻版载台的上表面且向上突出；可调支撑组件设置于光刻版载台的上表面、与一侧边缘相对的另一侧边缘的中部，包括滑块、以及凸设于滑块上的可调支撑件；一对角部支撑件、一对侧部支撑件、以及可调支撑件的顶端均设置有台阶部，且各台阶部的台阶面与光刻版载台上表面之间的距离相等。
本实用新型一种光刻版清洁台在权利要求书中公布了：1.一种光刻版清洁台，其特征在于，包括： 光刻版载台，所述光刻版载台的上表面设置有固定支撑组件、以及可调支撑组件；其中所述固定支撑组件包括一对角部支撑件、以及一对侧部支撑件，其中，所述一对角部支撑件分别设置于所述光刻版载台的一侧边缘的相背角部、固定于所述光刻版载台的上表面且向上突出，所述一对侧部支撑件分别设置于所述光刻版载台的所述一侧边缘相邻的两侧边缘、固定于所述光刻版载台的上表面且向上突出； 所述可调支撑组件设置于所述光刻版载台的上表面、与所述一侧边缘相对的另一侧边缘的中部，包括可垂直于所述另一侧边缘相对于所述光刻版载台的上表面移动的滑块、以及凸设于所述滑块上的可调支撑件；并且所述一对角部支撑件、所述一对侧部支撑件、以及所述可调支撑件的顶端均设置有台阶部，且各台阶部的台阶面与所述光刻版载台上表面之间的距离相等。
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