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北京特思迪半导体设备有限公司郝元龙获国家专利权

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龙图腾网获悉北京特思迪半导体设备有限公司申请的专利一种抛光压头加压驱动固定结构及加压机构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223903684U

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520280721.6,技术领域涉及:B24B41/06;该实用新型一种抛光压头加压驱动固定结构及加压机构是由郝元龙;陈艳东;寇明虎设计研发完成,并于2025-02-21向国家知识产权局提交的专利申请。

一种抛光压头加压驱动固定结构及加压机构在说明书摘要公布了:本申请提供一种抛光压头加压驱动固定结构及加压机构,涉及半导体抛光加工技术领域,包括:加压固定部、旋转中心部和连接部;其中,所述加压固定部,设置于抛光盘的上方,用于安装加压机构;所述旋转中心部设置于所述加压固定部的一侧,所述加压固定部能够以所述旋转中心部作为转动中心进行翻转;所述连接部用于连接所述加压固定部和所述旋转中心部,所述加压固定部装配于所述连接部,所述连接部与所述旋转中心部转动连接;所述加压固定部具有处于工作状态时的第一位置,以及翻转后用于更换所述工件的第二位置。解决了相关技术中加压固定部位置调节所存在结构较为复杂且制造成本较高的缺陷。

本实用新型一种抛光压头加压驱动固定结构及加压机构在权利要求书中公布了:1.一种抛光压头加压驱动固定结构,其特征在于,包括:加压固定部1、旋转中心部2和连接部3;其中,所述加压固定部1,设置于抛光盘的上方,用于安装加压机构; 所述旋转中心部2设置于所述加压固定部1的一侧,所述加压固定部1能够以所述旋转中心部2作为转动中心进行翻转; 所述连接部3用于连接所述加压固定部1和所述旋转中心部2,所述加压固定部1装配于所述连接部3,所述连接部3与所述旋转中心部2转动连接; 所述加压固定部1具有处于工作状态时的第一位置,以及翻转后用于更换工件的第二位置。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人北京特思迪半导体设备有限公司,其通讯地址为:101300 北京市顺义区杜杨北街3号院6号楼(顺创);或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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