江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司董亚南获国家专利权
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龙图腾网获悉江苏天科合达半导体有限公司;北京天科合达半导体股份有限公司申请的专利一种化学机械抛光机抛光液加注装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223903697U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423307667.4，技术领域涉及：B24B57/02；该实用新型一种化学机械抛光机抛光液加注装置是由董亚南;白定国;邹宇;张平;娄艳芳;彭同华;杨建设计研发完成，并于2024-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种化学机械抛光机抛光液加注装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种化学机械抛光机抛光液加注装置，包括储存有抛光液的储液罐，还包括能够将抛光液由所述储液罐送至化学机械抛光机内的供液组件。该化学机械抛光机抛光液加注装置能够有效提高抛光液的加注操作效率和操作精度，使其加注过程更加稳定可控，并能够有效避免抛光液洒落以及因此导致的物料浪费和环境污染等情况的发生。
本实用新型一种化学机械抛光机抛光液加注装置在权利要求书中公布了：1.一种化学机械抛光机抛光液加注装置，其特征在于，包括储存有抛光液的储液罐，还包括能够将抛光液由所述储液罐送至化学机械抛光机内的供液组件； 所述供液组件包括与化学机械抛光机适配的加液枪以及连通于所述加液枪与所述储液罐之间的抽液管，且所述供液组件还包括能够带动抽液管内的抛光液通入化学机械抛光机内的抽液泵。
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