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龙图腾网获悉苏州衡巍光电科技有限公司申请的专利一种具有加热结构的半导体设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223906923U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520556592.9，技术领域涉及：C23C14/22；该实用新型一种具有加热结构的半导体设备是由邢超;聂林涛;王嘉宁;常争争;张湾设计研发完成，并于2025-03-27向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种具有加热结构的半导体设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体制造工艺技术领域，且公开了一种具有加热结构的半导体设备，包括主腔室结构、第二适配器、第一适配器和源极外壳，源极外壳与第一适配器之间设置有安装机构；安装机构包括固定设置在第一适配器上的密封环，密封环上开设有两个旋转式卡槽。通过拨动块将移动块向下拨动，使插块脱离插槽，将翻转把翻转至远离固定块的位置后即可松开拨动块，之后通过逆时针旋转源极外壳，使卡块滑动至旋转式卡槽的出入口处，接着将源极外壳与第一适配器分离，便于对源极外壳进行快速拆卸，从而方便在需要更换不同尺寸的粒子准直器或源极外壳时，操作人员可以迅速完成更换工作，而无需对整个设备进行大规模调整。

本实用新型一种具有加热结构的半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种具有加热结构的半导体设备，包括主腔室结构1、第二适配器2、第一适配器3和源极外壳4，其特征在于：所述源极外壳4与第一适配器3之间设置有安装机构5； 所述安装机构5包括固定设置在第一适配器3上的密封环501，所述密封环501上开设有两个旋转式卡槽502，所述密封环501的两端固定设置有固定块503，所述固定块503的底部开设有插槽504； 所述源极外壳4的两端固定设置有与旋转式卡槽502适配的两个卡块505，所述卡块505与旋转式卡槽502滑动式卡合，所述源极外壳4的两端并位于卡块505的上方固定设置有安装块506，所述安装块506的一端固定设置有转动轴507，所述转动轴507上转动套设有翻转把508； 所述翻转把508内侧固定设置有两个滑轨509，所述滑轨509内固定设置有滑杆510，所述滑杆510上滑动套设有与滑轨509滑动连接的滑块513，两个所述滑块513之间固定设置有移动块512，所述滑杆510上套设有固定设置在滑块513与滑轨509之间的弹簧511，所述移动块512上固定设置有插块514，所述插块514与插槽504插入式卡接，所述移动块512的外侧固定设置有拨动块515。

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