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龙图腾网获悉无锡尚积半导体科技股份有限公司申请的专利用于PVD中的磁场可调式磁控组件获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223906926U 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520211699.X，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型用于PVD中的磁场可调式磁控组件是由丁聪;张超;张陈斌;宋永辉;王世宽设计研发完成，并于2025-02-11向国家知识产权局提交的专利申请。

本用于PVD中的磁场可调式磁控组件在说明书摘要公布了：本实用新型提供一种用于PVD中的磁场可调式磁控组件，包括：中间体，所述中间体包括相连的第一中间体部和第二中间体部；所述第一中间体部中设有多个磁铁装配孔，且在第一中间体部的中间设有空腔；所述第二中间体部中设有配重装配孔；背板，所述背板安装在中间体的背面，用于封闭中间体中所述磁铁装配孔的背面一端和所述配重装配孔的背面一端；安装组件，所述安装组件连接在背板上；所述安装组件用于连接转子；磁铁安装柱，所述磁铁安装柱的背面一端连接在安装组件上；磁铁安装柱中设有多个磁铁装配孔；所述磁铁安装柱藉由安装组件能够沿中间体的纵向调节位置；本实用新型方便调节磁控组件的磁场分布。

本实用新型用于PVD中的磁场可调式磁控组件在权利要求书中公布了：1.一种用于PVD中的磁场可调式磁控组件，其特征在于，包括： 中间体1，所述中间体1包括相连的第一中间体部11和第二中间体部12；所述第一中间体部11中设有多个磁铁装配孔111，且在第一中间体部11的中间设有空腔112；所述第一中间体部11中的多个磁铁装配孔111围绕所述空腔112设置；所述第二中间体部12中设有配重装配孔121； 背板2，所述背板2安装在中间体1的背面，用于封闭中间体1中所述磁铁装配孔111的背面一端和所述配重装配孔121的背面一端；所述背板2上开有与所述第一中间体部11中间的空腔112适配的中间孔21； 安装组件3，所述安装组件3连接在背板2上；所述安装组件3用于连接转子； 磁铁安装柱4，所述磁铁安装柱4的背面一端连接在安装组件3上，磁铁安装柱4位于背板2上的中间孔21和中间体1的空腔112中；磁铁安装柱4中设有多个磁铁装配孔111；所述磁铁安装柱4藉由安装组件3能够沿中间体1的纵向调节位置； 第一压板5，连接在中间体1的正面，用于封闭第一中间体部11中的磁铁装配孔111的正面一端，所述第一压板5作为第一磁轭； 第二压板6，连接在磁铁安装柱4的正面，用于封闭磁铁安装柱4中的磁铁装配孔111的正面一端，所述第二压板6作为第二磁轭； 第三压板7，连接在中间体1的正面，用于封闭第二中间体部12中的配重装配孔121的正面一端。

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