纳设智能装备(江苏)有限公司王彦涛获国家专利权
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龙图腾网获悉纳设智能装备(江苏)有限公司申请的专利一种喷淋设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223906937U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520055090.8，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种喷淋设备是由王彦涛;赵宝鑫;胡雄武;杨承枪;陈炳安;钟国仿设计研发完成，并于2025-01-09向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种喷淋设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种喷淋设备，包括第一通道、第二通道以及喷淋座，其中第一通道用于通入第一反应物或者间隔物，第二通道用于通入第二反应物或者间隔物。喷淋座具有连通第一通道的多个第一气孔以及连通第二通道的多个第二气孔。各第一气孔与各第二气孔相邻且间隔布置。第一气孔通入第一反应物时，第二气孔通入间隔物，第二气孔通入第二反应物时，第一气孔通入间隔物。本申请省去了单独通入间隔物的工序，提高了喷淋效率。并且有效防止了多种反应物直接接触混合，从而避免不必要的副反应发生，进而提高了半导体镀膜质量。
本实用新型一种喷淋设备在权利要求书中公布了：1.一种喷淋设备，其特征在于，适用于半导体，包括： 第一通道，用于通入第一反应物或间隔物； 第二通道，用于通入第二反应物或间隔物； 喷淋座，具有连通所述第一通道的多个第一气孔以及连通所述第二通道的多个第二气孔，各所述第一气孔与各所述第二气孔间隔且相邻布置，各所述第一气孔用于将所述第一反应物或所述间隔物导向半导体，各所述第二气孔用于将所述第二反应物或所述间隔物导向半导体； 其中，所述第一气孔通入所述第一反应物时，所述第二气孔通入所述间隔物，所述第二气孔通入所述第二反应物时，所述第一气孔通入所述间隔物。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人纳设智能装备(江苏)有限公司，其通讯地址为：226300 江苏省南通市通州区金新街道双福路126号半导体光电产业园N2栋1、4层；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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