苏州三熙智能科技有限公司杨鹏获国家专利权
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龙图腾网获悉苏州三熙智能科技有限公司申请的专利一种立式绝缘层喷镀设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223906938U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520252354.9，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种立式绝缘层喷镀设备是由杨鹏;陈功设计研发完成，并于2025-02-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种立式绝缘层喷镀设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及一种立式绝缘层喷镀设备,包括依次连接的预处理腔、第一喷镀腔、第二喷镀腔以及退火腔，预处理腔、第一喷镀腔、第二喷镀腔以及退火腔均包括一外壳以及设于外壳内的水平输送机构；外壳上均设有抽真空口和氮气接口，且其内均设置加热机构；外壳对应水平输送机构前后两端的位置设有启闭时能够将外壳选择性密封或使水平输送机构首尾依次衔接的闸门；外壳对应水平输送机构至少一侧的位置设置能够将外壳选择性密封的舱门；第一喷镀腔的舱门设有第一喷淋头；第二喷镀腔的舱门设有第二喷淋头。其优点是：本设备采用CVD+ALD复合工艺，喷镀的绝缘层厚度薄,不存在粘连；设备直线排布,两边水平方向进行喷镀,可以完美解决有两个切边的电池片同时喷镀。
本实用新型一种立式绝缘层喷镀设备在权利要求书中公布了：1.一种立式绝缘层喷镀设备，其特征在于：所述设备包括依次连接的预处理腔、第一喷镀腔、第二喷镀腔和退火腔；所述预处理腔、第一喷镀腔、第二喷镀腔以及退火腔均包括一外壳以及设于外壳内的水平输送机构，且四者之间的连接处以及预处理腔和退火腔的端部对应水平输送机构前后两端的位置设有启闭时能够将外壳选择性密封或使水平输送机构首尾依次衔接的闸门；所述外壳上均设有抽真空口和氮气接口，且其内均设置加热机构；所述外壳对应水平输送机构至少一侧的位置设置能够将外壳选择性密封的舱门；所述第一喷镀腔的舱门设有第一喷淋头；所述第二喷镀腔的舱门设有第二喷淋头；所述第一喷淋头和第二喷淋头均设有数个进气口和若干水平且垂直朝向水平输送机构的出气口。
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