申集半导体科技(徐州)有限公司王帅获国家专利权
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龙图腾网获悉申集半导体科技(徐州)有限公司申请的专利一种气相生长设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223906940U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520386250.7，技术领域涉及：C23C16/455；该实用新型一种气相生长设备是由王帅;娄静设计研发完成，并于2025-03-06向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种气相生长设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种气相生长设备，包括工艺腔室、基座、喷淋主体、旋转供气装置和旋转导热组件。喷淋主体位于工艺腔室内与基座相对设置，旋转供气装置动密封设于工艺腔室顶部，朝向喷淋主体延伸，与喷淋主体连通，使得喷淋主体在提供工艺气体的过程中旋转，能够灵活控制工艺气体注入方向动态调整来提高薄膜生长的均匀性。另外，旋转导热组件动密封设工艺腔室底部，朝向基座延伸至基座下方，加热装置设于基座下方，旋转导热组件顶部包括导热装置，导热装置位于基座与加热装置之间，使得旋转导热组件旋转过程中带动导热装置旋转，有利于基座与加热装置之间的温场均匀，从而进一步通过提高衬底表面的温度均匀性来有利于薄膜生长的均匀性。
本实用新型一种气相生长设备在权利要求书中公布了：1.一种气相生长设备，其特征在于，包括： 工艺腔室100； 基座110，设于所述工艺腔室100内，用于承载衬底； 喷淋主体210，位于所述工艺腔室100内，与所述基座110相对设置，以向所述衬底提供工艺气体； 旋转供气装置200，动密封设于所述工艺腔室100顶部，朝向所述喷淋主体210延伸，与所述喷淋主体210连通，以向所述喷淋主体提供所述工艺气体； 旋转导热组件300，动密封设于所述工艺腔室100底部，朝向所述基座110延伸至所述基座110下方； 加热装置120，设于所述基座110下方，所述旋转导热组件300顶部包括导热装置130，所述导热装置130位于所述基座110与所述加热装置120之间。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人申集半导体科技(徐州)有限公司，其通讯地址为：221300 江苏省徐州市邳州市邳州经济开发区辽河路以北华山路以西半导体材料和设备产业园C2号厂房；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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