杭州探真纳米科技有限公司贾宪生获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州探真纳米科技有限公司申请的专利尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN113049853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110273278.6，技术领域涉及：G01Q60/38；该发明授权尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖制备方法是由贾宪生;崔波;朱效立设计研发完成，并于2021-03-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖制备方法在说明书摘要公布了：本发明提供了一种尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖制备方法。该技术方案利用聚焦离子束辐照悬空微纳米金属结构会使微纳米金属结构向上折叠，且折叠家角度和辐照能量相关的特点，在悬臂梁顶端沉积金属薄膜，选择不同聚焦离子束参数辐照悬臂梁外金属结构悬空部位，制备倾斜角度可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖。作为一种全新的大高宽比AFM探针制造方法，本发明一致性可控，适用于多种材料，且方法简单适于大批量生产。作为原子力显微镜的核心构件，本发明产品具有更高的探测精度。
本发明授权尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜AFM探针针尖制备方法在权利要求书中公布了：1.尺寸、倾斜角可控的超大高宽比倾斜 AFM 探针针尖制备方法，其特征在于包括以下步骤： 1在清洗干净的 SOI 片表面旋涂 200‑400 纳米 PMMA 光刻胶，180℃烘烤1‑2 分钟； 2对步骤 1所得的样片，用电子束曝光机进行曝光，曝光剂量为 500‑1000mJcm2；曝光后将样片放入显影液显影 30‑50s，再放入定影液定影 30‑50s，得到带三角形尖端的长条凹槽图案； 3对步骤 2所得的样片，用热蒸发镀膜设备、电子束蒸发镀膜设备或磁控溅射镀膜设备在其上直接沉积 20‑30 纳米 Cr 或 Ti 金属薄膜； 4将步骤 3所得的样片浸入丙酮中，室温下浸泡 10‑30 分钟； 5对步骤 4所得的样片，分别刻蚀样品正反两面制备出 AFM 探针悬臂梁部分和基底部分； 6对步骤 5所得的样片，用聚焦离子束辐照金属纳米线结构使其折叠。
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