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龙图腾网获悉拓荆科技股份有限公司申请的专利压力控制系统及半导体设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115164102B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210914440.2，技术领域涉及：F17D1/02；该发明授权压力控制系统及半导体设备是由董文惠设计研发完成，并于2022-08-01向国家知识产权局提交的专利申请。

本压力控制系统及半导体设备在说明书摘要公布了：本申请提供了一种压力控制系统及半导体设备，压力控制系统包括：腔体、压力计、第一调节阀和第二调节阀；压力计用于实时检测腔体内部的压力信号，并将压力信号发送至第一调节阀；通过调整第二调节阀的开度，以使第一调节阀的开度进入预设开度范围，与压力计形成闭环控制，使压力计采集的压力信号达到指定值；预设开度范围包括：压力可控的第一开度范围或者控制精度最好的第二开度范围。本申请通过设置与第一调节阀串联的第二调节阀，能够在第一调节阀的开度过大或过小时，通过调整第二调节阀的开度，使第一调节阀的开度工作于压力可控范围，甚至工作于控制精度最好的开度范围内，而且可以提高不同半导体设备间的一致性。

本发明授权压力控制系统及半导体设备在权利要求书中公布了：1.一种压力控制系统的控制方法，其特征在于，所述压力控制系统1包括：腔体11、压力计12、第一调节阀13和第二调节阀14； 其中，所述压力计12设置于所述腔体11和所述第一调节阀13之间；所述第一调节阀13设置于所述腔体11的输出管路111上；所述第二调节阀14与所述第一调节阀13串联设置； 所述压力计12用于实时检测所述腔体11内部的压力信号，并将所述压力信号发送至所述第一调节阀13； 通过调整所述第二调节阀14的开度，以使所述第一调节阀13的开度进入预设开度范围，与所述压力计12形成闭环控制，使所述压力计12采集的压力信号达到指定值；所述预设开度范围包括：压力可控的第一开度范围或者控制精度最好的第二开度范围； 在所述第一调节阀13的开度超出可控范围时，调整所述第二调节阀14的开度，以使所述第一调节阀13的开度进入压力可控的第一开度范围，进一步调整所述第二调节阀14的开度，以使所述第一调节阀13的开度进入控制精度最好的第二开度范围；所述第二调节阀14设置于远离所述腔体11的输出管路111上或厂务端管路151上； 在所述腔体11内的压力需达到本底压力时，将所述第二调节阀14的开度调为最大，以避免所述第二调节阀14对抽气时间造成影响。

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