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应用材料以色列公司E·本巴鲁克获国家专利权

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龙图腾网获悉应用材料以色列公司申请的专利生成可用于检查半导体样本的训练集获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN115471493B

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202211220684.7,技术领域涉及:G06V10/774;该发明授权生成可用于检查半导体样本的训练集是由E·本巴鲁克;S·埃尔卡亚姆;S·科恩;T·本-什洛莫设计研发完成,并于2021-03-18向国家知识产权局提交的专利申请。

生成可用于检查半导体样本的训练集在说明书摘要公布了:提供了一种生成用于训练可用于样本检查的深度神经网络的训练集的系统和方法。方法包括:针对组中的每个给定训练图像:i生成第一批训练面片,包括:将给定训练图像裁剪成第一多个原始面片;以及扩充第一多个原始面片中的至少一部分以便模拟由样本的物理过程导致的变化;以及ii生成第二批训练面片,包括:在给定训练图像上移位多个第一位置以获得第二多个原始面片,以及重复对第二多个原始面片进行扩充以生成第二多个扩充面片;以及将对应于每个给定训练图像的至少第一第二批训练面片包括在训练集中。

本发明授权生成可用于检查半导体样本的训练集在权利要求书中公布了:1. 一种用于样本的运行时检查的计算机化方法,所述方法包括: 获得所述样本的一个或多个运行时图像;以及使用深度神经网络DNN处理所述一个或多个运行时图像,从而作为所述DNN的输出而获得应用特定的检查相关数据; 其中,所述DNN预先使用训练集针对特定应用进行训练,所述训练集至少包括与给定训练图像相对应的第一批训练面片和第二批训练面片,其中通过以下操作来生成所述第一批训练面片:根据所述给定训练图像上的多个第一位置,将所述给定训练图像裁剪成第一多个原始面片,以及扩充所述第一多个原始面片中的至少一部分,以便模拟由所述样本的物理过程导致的变化;并且通过以下操作来生成所述第二批训练面片:在所述给定训练图像上将所述多个第一位置移位到多个第二位置,以获得对应于所述多个第二位置的第二多个原始面片,以及重复对所述第二多个原始面片进行所述扩充以生成第二多个扩充面片。

如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术,可联系本专利的申请人或专利权人应用材料以色列公司,其通讯地址为:以色列瑞哈佛特市;或者联系龙图腾网官方客服,联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。

以上内容由龙图腾AI智能生成。

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