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龙图腾网获悉北京半导体专用设备研究所(中国电子科技集团公司第四十五研究所)申请的专利一种掩模对准交接装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115818241B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211614703.4，技术领域涉及：B65G47/91；该发明授权一种掩模对准交接装置是由王浩楠;赵晨阳;刘嘉玮设计研发完成，并于2022-12-14向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种掩模对准交接装置在说明书摘要公布了：本发明涉及掩模传输技术领域，具体而言，涉及一种掩模对准交接装置，包括固定架，固定架的底部设置用于吸附固定掩模版的吸盘，固定架的四侧分别对应设置有前侧板、后侧板、左侧板和右侧板，固定架朝向前侧板、后侧板、左侧板和右侧板的方向分别为前向、后向、左向和右向；固定架上设置驱动机构，驱动机构与前侧板、后侧板、左侧板和右侧板连接，能够同时驱动前侧板和后侧板相向移动、以及左侧板和右侧板相向移动；前侧板、后侧板、左侧板和右侧板上均固定设置有定位柱，四侧的定位柱能够共同抵接掩模版的四侧以对掩模版水平方向进行定位。本装置能够完成掩模版的对准、固定和交接，并且对准操作简单，整体结构简单。

本发明授权一种掩模对准交接装置在权利要求书中公布了：1.一种掩模对准交接装置，其特征在于，包括固定架4，所述固定架4的底部设置用于吸附固定掩模版1的吸盘2，所述固定架4的四侧分别对应设置有前侧板801、后侧板802、左侧板803和右侧板804，所述固定架4朝向所述前侧板801、所述后侧板802、所述左侧板803和所述右侧板804的方向分别为前向、后向、左向和右向； 所述固定架4上设置驱动机构6，所述驱动机构6与所述前侧板801、所述后侧板802、所述左侧板803和所述右侧板804连接，能够同时驱动所述前侧板801和所述后侧板802相向移动、以及所述左侧板803和所述右侧板804相向移动； 所述前侧板801、所述后侧板802、所述左侧板803和所述右侧板804上均固定设置有定位柱7，所述前侧板801、所述后侧板802、所述左侧板803和所述右侧板804上的所述定位柱7能够共同抵接所述掩模版的四侧以对掩模版水平方向进行定位； 所述吸盘2为柔性材质，所述吸盘2通过三个均布设置的柔性片5悬挂于所述固定架4的底部，所述柔性片5包括固定端和浮动端，三个所述柔性片5的固定端与所述固定架相连、浮动端与所述吸盘2相连，所述浮动端跟随所述吸盘2的柔性变形而浮动； 在进行掩模版1与所述吸盘2对准操作时，设置用于承载掩模版1的机械手9，通过机械手9自动移动掩模版1至所述吸盘2的正下方，使掩模版1与所述吸盘2对应接触。

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