全芯智造技术有限公司请求不公布姓名获国家专利权
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龙图腾网获悉全芯智造技术有限公司申请的专利与工艺参数有关的方法、设备和介质获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN115877671B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202211735334.4，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权与工艺参数有关的方法、设备和介质是由请求不公布姓名设计研发完成，并于2022-12-31向国家知识产权局提交的专利申请。
本与工艺参数有关的方法、设备和介质在说明书摘要公布了：根据本公开的示例实施例提供了与工艺参数有关的方法、设备和介质。该方法包括获取测试图案和针对所述测试图案的参考工艺窗口。参考工艺窗口指示一个或多个工艺参数的范围。该方法还包括基于参考工艺窗口，确定利用所述测试图案进行光刻而形成的第一仿真图案。该方法还包括确定至少与形成第一仿真图案有关的第一成像成本。该方法还包括：基于第一成像成本，确定目标工艺参数集。以此方式，可以高效地确定用于新工艺节点的工艺参数，从而有利地加快新工艺节点的研发进程。
本发明授权与工艺参数有关的方法、设备和介质在权利要求书中公布了：1.一种与工艺参数有关的方法，其特征在于，包括： 获取测试图案和针对所述测试图案的参考工艺窗口，所述参考工艺窗口指示一个或多个工艺参数的范围，并且所述参考工艺窗口用于第一半导体工艺； 基于所述参考工艺窗口，确定利用所述测试图案进行光刻而形成的第一仿真图案； 确定至少与形成所述第一仿真图案有关的第一成像成本；以及基于所述第一成像成本，确定目标工艺参数集，所述目标工艺参数集用于与所述第一半导体工艺不同的第二半导体工艺。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人全芯智造技术有限公司，其通讯地址为：230088 安徽省合肥市高新区创新大道2800号创新产业园二期J2C栋13楼；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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