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龙图腾网获悉之江实验室;浙江大学申请的专利一种膜层材料辅助生长的锌基多级微纳结构及其制备方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN116770297B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-17发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202310742664.4，技术领域涉及：C23C26/00；该发明授权一种膜层材料辅助生长的锌基多级微纳结构及其制备方法是由钱全立;匡翠方;曹春;关玲玲;邱毅伟;沈小明;庞茂璋;夏贤梦;赖慧颖;李佳伟;马鹏程;付欢;王宵冰;马致远设计研发完成，并于2023-06-21向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种膜层材料辅助生长的锌基多级微纳结构及其制备方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种膜层材料辅助生长的锌基多级微纳结构及其制备方法。所述制备方法包括以下步骤：1在有机溶剂与水的混合液中加入锌源和含氮有机配体，在室温下充分混合均匀，得到澄清溶液；2在步骤1所得澄清溶液中加入有机羧酸配体，并在室温下充分混合均匀，得到制备锌基多级微纳结构的母液；3将膜层材料作为基底垂直置入步骤2所得母液中，置于90～120℃环境内保温15～48小时，即在所述基底表面得到锌基多级微纳结构。本发明的锌基多级微纳结构是由长条纳米棒或纳米线组装而成的球状形貌的锌基微纳结构，制备方法简单、流程短，原料方便易得，适合完成大面积多级微纳结构的制备。

本发明授权一种膜层材料辅助生长的锌基多级微纳结构及其制备方法在权利要求书中公布了：1.一种膜层材料辅助生长的锌基多级微纳结构的制备方法，其特征在于：所述制备方法包括以下步骤： 1在有机溶剂与水的混合液中加入锌源和含氮有机配体，在室温下充分混合均匀，得到澄清溶液；所述锌源与所述含氮有机配体的摩尔比为1:0.5~1:4； 2在步骤1所得澄清溶液中加入有机羧酸配体，并在室温下充分混合均匀，得到制备锌基多级微纳结构的母液；所述有机羧酸配体为丙二酸、亚酒石酸、DL‑酒石酸中的任意一种； 3将用于制造CMOS器件的膜层材料作为基底垂直置入步骤2所得母液中，置于90~120℃环境内保温15~48小时，即在所述基底表面得到锌基多级微纳结构，所述锌基多级微纳结构是由长条纳米棒或纳米线组装而成的微米级球状形貌的锌基微纳结构，各纳米棒或线分布均匀、排列规则，呈现“类花椰菜”或“花簇状”两级结构，所述微米级球状形貌的锌基微纳结构的直径为8~30μm，所述长条纳米棒或纳米线尺寸在10~120nm范围内；所述的用于制造CMOS器件的膜层材料为SiO2、Si3N4、氮氧化硅膜层材料中的任意一种。

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