上海悦匠实业有限公司王开兵获国家专利权
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龙图腾网获悉上海悦匠实业有限公司申请的专利一种用于半导体PVD设备的电源配电柜获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223942250U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-24发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520978392.2,技术领域涉及:H02B1/30;该实用新型一种用于半导体PVD设备的电源配电柜是由王开兵;王明杰设计研发完成,并于2025-05-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种用于半导体PVD设备的电源配电柜在说明书摘要公布了:本实用新型提供一种用于半导体PVD设备的电源配电柜,包括主柜和至少一个扩展柜,主柜中设置有保护控制模块,扩展柜中设置有输出模块,保护控制模块包括主断路器、主接触器、第一分支断路器和第二分支断路器;第一分支断路器与第二分支断路器的输入端并联后与主接触器和主断路器依次串联连接到外部交流电网,第一分支断路器与第二分支断路器分别通过第一分支母线和第二分支铜排连接多个第一连接器;第一连接器分别依次排列固定在主柜的侧板上;输出模块包括在扩展柜中依次设置的多个输出单元,输出单元包括连接的供电电源和第二连接器,第二连接器设置于扩展柜的侧板上,第二连接器通过外部线缆分别连接一个第一连接器,供电电源连接PVD设备供电。
本实用新型一种用于半导体PVD设备的电源配电柜在权利要求书中公布了:1.一种用于半导体PVD设备的电源配电柜,其特征在于,包括主柜和至少一个扩展柜,所述主柜中设置有保护控制模块,所述扩展柜中设置有输出模块,所述保护控制模块包括主断路器、主接触器、第一分支断路器和第二分支断路器;所述第一分支断路器与所述第二分支断路器的输入端并联后与所述主接触器和所述主断路器依次串联连接到外部交流电网,所述第一分支断路器的输出端与所述第二分支断路器的输出端分别连接第一分支母线和第二分支铜排,所述第一分支母线和所述第二分支铜排分别连接有多个第一连接器;所述第一连接器分别依次排列固定在所述主柜的侧板上;所述输出模块包括在扩展柜中分层依次设置的多个输出单元,所述输出单元包括相互连接的供电电源和第二连接器,所述第二连接器设置于所述扩展柜的侧板上,每一所述第二连接器通过外部线缆分别插接连接一个所述第一连接器,所述供电电源连接PVD设备供电。
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