日本发条株式会社木田直哉获国家专利权
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龙图腾网获悉日本发条株式会社申请的专利载物台、以及基板的温度控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114097068B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080049779.X，技术领域涉及：H10P72/00；该发明授权载物台、以及基板的温度控制方法是由木田直哉;巽新;关谷健二;相川尚哉;高梨雅也设计研发完成，并于2020-07-28向国家知识产权局提交的专利申请。
本载物台、以及基板的温度控制方法在说明书摘要公布了：载物台包括：轴；轴上的第一支撑板；加热器，其配置于第一支撑板内所形成的槽内；以及气体供应管，其配置在轴内且构成为向第一支撑板吹送气体。第一支撑板可以具有圆盘形状，平行于第一支撑板表面的气体供应管的截面可以与圆盘形状的中心重叠。第一支撑板可以构成为阻挡所述气体并且将所述气体不排放到载物台所配置的腔室内。
本发明授权载物台、以及基板的温度控制方法在权利要求书中公布了：1.一种载物台，其特征在于，包括： 轴； 第一支撑板，其位于所述轴上并包括金属； 加热器，其配置于所述第一支撑板内所形成的槽内；以及 气体供应管，其在所述轴内配置在与所述第一支撑板的中心对应的位置，且构成为向所述第一支撑板的中心吹送空气而达成所述第一支撑板中的因空气的冷却导致的中心部分的温度下降和因从外周部的热释放导致的外周部分的温度下降的平衡， 所述气体供应管的前端和所述第一支撑板之间的距离为1mm以上且30mm以下。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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