刚川机器人(东阳)有限公司王治刚获国家专利权
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龙图腾网获悉刚川机器人(东阳)有限公司申请的专利一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114740693B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202210470056.8，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置是由王治刚设计研发完成，并于2022-04-30向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置在说明书摘要公布了：一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置，包含底座1，所述的底座1上设置有主反光碗6、侧反光环碗7和下反光碗8；其特征在于：所述下反光碗8由支撑机构3在侧反光环碗7上固定支撑，其下反光碗8，将等离子体发射的EUV11向下散射的EUV光反射到侧反光环碗7上再反射和主反光碗6的反射EUV光叠加会聚在同一个中间焦点4上。本发明通过下反光碗8和侧反光环碗7结构的聚焦提高了中间焦点4光功率30‑45％，大大节约了电能，使芯片制造更环保。
本发明授权一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置在权利要求书中公布了：1.一种EUV超高聚光效率的反光碗组合装置，包含底座1,所述的底座1上设置有主反光碗6、侧反光环碗7和下反光碗8；其特征在于：所述下反光碗8由支撑机构3在侧反光环碗7上固定支撑，所述下反光碗8将等离子体发射的EUV11向下散射的EUV光反射到侧反光环碗7上再反射和主反光碗6反射的EUV光叠加会聚在同一个中间焦点4上，再经过中间焦点4一起入射到光路反光装置5上再反射出工作面或线9之上应用，所述下反光碗8反射的EUV以交叉的形式设置通过下反光碗8与主反光碗6的窄隙缝到侧反光环碗7上再反射叠加聚焦到中间焦点4上；这种结构以尽量增大各反射面积来提高聚光效率使中间焦点4光功率提高了30-45％。
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