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龙图腾网获悉上海芯无双仿真科技有限公司申请的专利一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120725978B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510813405.5，技术领域涉及：G06T7/00；该发明授权一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法是由任谦;王昳;赵伟;修磊;陈强;方大千;潘继宏设计研发完成，并于2025-06-18向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法在说明书摘要公布了：本发明提供一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法，涉及芯片制造技术领域，包括搭建TEM图像智能分析与量测系统，所述TEM图像智能分析与量测系统中包含有图像采集模块、图像预处理模块、量测模板生成模块、量测路径规划模块、数据融合与分析模块和云端优化模块，本发明中TEM‑Nanoscope通过量子计算加速模块20量子比特，10个CNOT门和A*算法路径规划模块，将百万级TEM图像的特征提取时间从小时级缩短至分钟级效率提升50倍，路径规划时间降至1秒，解决了传统手动分析和主流软件处理速度慢的瓶颈。与DigitalMicrograph和ImageJ的逐一处理相比，支持高通量分析，大幅提高生产效率。

本发明授权一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法在权利要求书中公布了：1.一种nanoscope软件可快速批量分析TEM图像及关键尺寸测量方法，包括搭建TEM图像智能分析与量测系统，其特征在于：所述TEM图像智能分析与量测系统中包含有图像采集模块、图像预处理模块、量测模板生成模块、量测路径规划模块、数据融合与分析模块和云端优化模块； 所述TEM图像智能分析与量测系统中模块的具体设置如下： 图像采集模块：配置为接收芯片制造领域的TEM图像及对应的能量色散谱和电子能量损失谱数据； 图像预处理模块：包含生成对抗网络单元和图神经网络单元，其中所述生成对抗网络单元包括生成器和判别器，生成器由5层卷积层组成，用于重建TEM图像中的边界特征，判别器由3层全连接层组成，用于验证重建边界与原始图像的一致性；所述图神经网络单元包括10个节点层，用于提取TEM图像中关键特征间的拓扑连接关系； 量测模板生成模块：包含强化学习单元，所述强化学习单元由Q-learning算法驱动，输入参数包括工艺规则数据库中的层厚值和特征尺寸范围，输出为包含至少20个量测点的动态量测模板； 量测路径规划模块：包含A算法单元，所述A算法单元以图像像素灰度梯度和特征密度作为权重参数，生成包含15个优先量测点的路径序列； 数据融合与分析模块：包含多模态卷积神经网络，所述多模态卷积神经网络由8层卷积层和4层池化层组成，将TEM图像的边界数据与EDSEELS的元素分布数据进行特征级融合，输出关键尺寸值和材料成分分布表； 云端优化模块：包含联邦学习单元，所述联邦学习单元由本地客户端和云端服务器组成，本地客户端配置为训练包含5层卷积层的神经网络模型，云端服务器配置为接收10个客户端的模型参数更新并加权平均生成全局模型。

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