广州市尤特新材料有限公司周志宏获国家专利权
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龙图腾网获悉广州市尤特新材料有限公司申请的专利一种旋转氧化铌靶材及其制备方法和应用获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN120844036B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202511052163.9,技术领域涉及:C23C14/35;该发明授权一种旋转氧化铌靶材及其制备方法和应用是由周志宏;刘青雄;周昭寅;肖明设计研发完成,并于2025-07-29向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转氧化铌靶材及其制备方法和应用在说明书摘要公布了:本发明属于旋转氧化铌靶材技术领域,公开一种旋转氧化铌靶材,包括氧化铌主体层和内衬管,氧化铌主体层包括氧化铌工作表层和金属过渡底层,氧化铌主体层在氧化铌工作表层和金属过渡底层之间设有功能梯度中间层;该功能梯度中间层由Nb22O55和TiO22组成,其与金属过渡底层接触端Nb22O55含量为≥45wt%且≤55wt%而与氧化铌工作表层接触端Nb22O55含量为≥95wt%且≤100wt%,从与金属过渡底层接触端到与氧化铌工作表层接触端Nb22O55含量逐渐增加。功能梯度中间层成分逐渐变化,热膨胀系数连续过渡,产生热应力小,氧化铌工作表层与功能梯度中间层结合的界面不容易被破坏,功能梯度中间层与金属过渡底层结合的界面也不容易被破坏,故氧化铌主体层不容易从内衬管剥离。
本发明授权一种旋转氧化铌靶材及其制备方法和应用在权利要求书中公布了:1.一种旋转氧化铌靶材,包括氧化铌主体层和内衬管,氧化铌主体层包括氧化铌工作表层和金属过渡底层,其特征在于,氧化铌主体层在氧化铌工作表层和金属过渡底层之间设有功能梯度中间层;该功能梯度中间层由Nb2O5和TiO2组成,其与金属过渡底层接触端Nb2O5含量为≥45wt%且≤55wt%而与氧化铌工作表层接触端Nb2O5含量为≥95wt%且≤100wt%,从与金属过渡底层接触端到与氧化铌工作表层接触端Nb2O5含量逐渐增加; 所述氧化铌工作表层和功能梯度中间层的Nb2O5表面包覆有SiO2纳米层; 所述金属过渡底层厚度100~300μm,功能梯度中间层厚度200~500μm;氧化铌工作表层厚度1~2mm; 所述Nb2O5经氢还原-钝化处理,表面包覆SiO2纳米层,具体为:首先,氢还原处理是将述Nb2O5在400~500℃纯H2气氛中还原2~4h;然后,钝化处理是将经氢还原处理Nb2O5在含1~3vol%O2的N2气氛中室温暴露22~26h;最后,将经钝化处理的Nb2O5浸入1~3wt%硅烷偶联剂乙醇溶液,经超声处理10~40min后,置于550~650℃下煅烧50~80min,得到表面包覆有SiO2纳米层的Nb2O5; 所述SiO2纳米层的厚度为60nm、80nm或100nm。
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