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龙图腾网获悉矽电半导体设备(深圳)股份有限公司申请的专利一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN120847444B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511350025.9，技术领域涉及：G01R1/04；该发明授权一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法是由吴贵阳设计研发完成，并于2025-09-22向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法在说明书摘要公布了：本发明涉及晶圆测试技术领域，公开了一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法。本发明的载片机构用于放置晶圆，包括：基座、滑动座、第一丝杆、第一驱动件、连接件、第二丝杆、第二驱动件、导向杆以及载片台。第一驱动件用于驱动第一丝杆转动，以使连接件以及第二丝杆相对第一丝杆升降，从而使滑动座以及载片台升降。第二驱动件用于驱动第二丝杆转动，以使第二丝杆相对连接件升降，从而使滑动座以及载片台升降。载片机构有两根丝杆都能够实现载片台的微动，且一根丝杆微动并不会对另一个丝杆产生磨损，当第一丝杆或者第二丝杆磨损之后，可以使用另一个丝杆继续驱动载片台微动，有效提升丝杆传动机构的整体使用寿命。

本发明授权一种载片机构、晶圆测试装置及其控制方法在权利要求书中公布了：1.载片机构，用于放置晶圆，其特征在于，包括：基座、滑动座、第一丝杆、第一驱动件、连接件、第二丝杆、第二驱动件、导向杆以及载片台； 所述第一驱动件固定设置于所述基座； 所述滑动座沿竖直方向滑动连接于所述基座，所述载片台、所述第二驱动件固定设置于所述滑动座，所述第二丝杆与所述第二驱动件连接； 所述第一丝杆与所述第二丝杆均与所述连接件螺纹连接，所述导向杆沿竖直方向穿设过所述连接件以限制所述连接件沿径向转动； 所述第一驱动件用于驱动所述第一丝杆转动，以使所述连接件以及所述第二丝杆相对所述第一丝杆升降，从而使所述滑动座以及所述载片台升降； 所述第二驱动件用于驱动所述第二丝杆转动，以使所述第二丝杆相对所述连接件升降，从而使所述滑动座以及所述载片台升降； 所述第二丝杆为中空结构，所述连接件为环形柱状结构，所述连接件具有外周螺纹与内周螺纹，所述外周螺纹与所述第二丝杆的内壁螺纹连接，所述第一丝杆穿设于所述连接件与所述内周螺纹连接，所述第一丝杆、所述第二丝杆以及所述连接件同轴。

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