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龙图腾网获悉联合光科(重庆)精密科技有限公司申请的专利利用激光干涉仪检测微晶底部面形的面形检测设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN121089618B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202511648102.9，技术领域涉及：G01B11/24；该发明授权利用激光干涉仪检测微晶底部面形的面形检测设备及方法是由潘宏建;熊润;叶记池;付治;王樊;李勤刚设计研发完成，并于2025-11-12向国家知识产权局提交的专利申请。

本利用激光干涉仪检测微晶底部面形的面形检测设备及方法在说明书摘要公布了：本申请涉及光学元件面形检测技术领域，具体涉及一种利用激光干涉仪检测微晶底部面形的面形检测设备及方法。面形检测设备包括：支撑组件，支撑组件与被测微晶连接，用于支撑被测微晶；高精度辅助镜，高精度辅助镜用于将来自于激光干涉仪的检测激光反射至被测面，以及将来自被测面的反射光按照原光路返送至激光干涉仪；角度调节组件，角度调节组件用于调节高精度辅助镜的镜面倾角；位置调节组件，位置调节组件用于调整高精度辅助镜所在的位置；校准参考机构，用于检测高精度辅助镜的位置或镜面倾角是否符合预期。采用本申请提供的方案，可在有限条件下实现特殊位置的高精度微晶面形检测，扩大了现有激光干涉仪的适用范围，节省了检测成本。

本发明授权利用激光干涉仪检测微晶底部面形的面形检测设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种利用激光干涉仪检测微晶底部面形的面形检测设备，所述激光干涉仪200包括干涉镜面，所述激光干涉仪200通过干涉镜面水平发射检测激光，其特征在于，所述面形检测设备用于检测被测微晶100的面形，所述面形检测设备包括： 支撑组件，所述支撑组件与所述被测微晶100连接，用于支撑被测微晶100；其中被测微晶100的被测面水平朝下且与所述干涉镜面垂直； 高精度辅助镜1，所述高精度辅助镜1设于被测面正下方，用于将来自于激光干涉仪200的检测激光反射至被测面，以及将来自被测面的反射光按照原光路返送至激光干涉仪200； 角度调节组件，所述角度调节组件与所述高精度辅助镜1连接，用于调节高精度辅助镜1的镜面倾角；所述角度调节组件包括连接板3，所述高精度辅助镜1固定于连接板3的板面中部，所述连接板3的板面与所述高精度辅助镜1的镜面平行； 位置调节组件，所述位置调节组件与高精度辅助镜1或角度调节组件连接，用于调整高精度辅助镜1所在的位置； 校准参考机构，所述校准参考机构设于高精度辅助镜1附近，用于检测高精度辅助镜1的位置或镜面倾角是否符合预期；所述校准参考机构包括校准镜8和转接板7，所述校准镜8与角度调节组件连接，所述校准镜8的镜面朝向激光干涉仪200的干涉镜面设置，所述校准镜8的最高处不高于高精度辅助镜1的最低处； 所述转接板7包括一体连接的第一板和第二板，其中第一板与所述连接板3平行且与连接板3固定连接，第二板的板面与水平面平行；所述第二板的顶面上设有用于固定校准镜8的固定槽。

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