上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司张熙杰获国家专利权
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龙图腾网获悉上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司申请的专利一种晶圆背洗喷嘴、喷头及设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223945876U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423201161.5，技术领域涉及：B05B1/00；该实用新型一种晶圆背洗喷嘴、喷头及设备是由张熙杰设计研发完成，并于2024-12-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种晶圆背洗喷嘴、喷头及设备在说明书摘要公布了：本实用新型涉及集成电路生产领域，特别是涉及一种晶圆背洗喷嘴、喷头及设备，包括滑动分体、固定分体及驱动组件；所述滑动分体的内壁与所述固定分体的内壁围成清洗液的输送管路；所述驱动组件驱动所述滑动分体在所述输送管路的轴向上运动，使所述晶圆背洗喷嘴根据所述滑动分体的不同位置改变所述清洗液的出射方向。本实用新型将用于晶圆背洗的喷嘴划分为可移动的滑动分体及固定的固定分体，通过滑动分体在输送管路的轴向上的运动，使清洗液在出口处喷出时受力不均从而斜向喷射，通过驱动组件控制滑动分体的位置调整清洗液的出射方向，进而实现对待背洗晶圆清洗区域的实时调整控制，提升了清洗晶圆不同区域进行清洗时的调整精度，缩短了调整耗时。
本实用新型一种晶圆背洗喷嘴、喷头及设备在权利要求书中公布了：1.一种晶圆背洗喷嘴，其特征在于，包括滑动分体、固定分体及驱动组件； 所述滑动分体的内壁与所述固定分体的内壁围成清洗液的输送管路； 所述驱动组件驱动所述滑动分体在所述输送管路的轴向上运动，使所述晶圆背洗喷嘴根据所述滑动分体的不同位置改变所述清洗液的出射方向。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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