杭州镓仁半导体有限公司夏宁获国家专利权
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龙图腾网获悉杭州镓仁半导体有限公司申请的专利晶圆单面抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223947606U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520618742.4，技术领域涉及：B24B29/02；该实用新型晶圆单面抛光装置是由夏宁;林猛设计研发完成，并于2025-04-03向国家知识产权局提交的专利申请。
本晶圆单面抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种晶圆单面抛光装置，涉及晶圆抛光技术领域，包括抛光盘组件、内齿圈组件、中心齿轮组件和抛光头组件。抛光盘组件包括电机一和抛光盘，电机一与抛光盘传动连接。内齿圈组件包括电机二和内齿圈，电机二与内齿圈传动连接。中心齿轮组件包括电机三和中心齿轮，电机三与中心齿轮传动连接。抛光头组件包括吸盘和行星齿轮。吸盘位于晶圆背离抛光盘的一侧，用于吸附晶圆。行星齿轮与吸盘周向限位，以带动吸盘旋转。行星齿轮同时与内齿圈和中心齿轮啮合，以在内齿圈和中心齿轮的驱动下移位和旋转。相比于现有技术，本实用新型的晶圆单面抛光装置在保证抛光效率和抛光均匀性的同时，能够实现磨削量的精确控制。
本实用新型晶圆单面抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种晶圆单面抛光装置，其特征在于，包括： 抛光盘组件，包括电机一和抛光盘，所述电机一与所述抛光盘传动连接； 内齿圈组件，包括电机二和内齿圈，所述电机二与所述内齿圈传动连接，所述内齿圈与所述抛光盘同心设置； 中心齿轮组件，包括电机三和中心齿轮，所述电机三与所述中心齿轮传动连接，所述中心齿轮与所述抛光盘同心设置； 抛光头组件，包括吸盘和行星齿轮；所述吸盘位于晶圆背离所述抛光盘的一侧，用于吸附晶圆；所述行星齿轮与所述吸盘周向限位，以带动所述吸盘旋转；所述行星齿轮同时与所述内齿圈和所述中心齿轮啮合，以在所述内齿圈和所述中心齿轮的驱动下移位和旋转。
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