佛山曜世新材料科技有限公司林晓棋获国家专利权
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龙图腾网获悉佛山曜世新材料科技有限公司申请的专利一种制造超薄单晶金刚石衬底的抛光装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223947630U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520630747.9，技术领域涉及：B24B37/04；该实用新型一种制造超薄单晶金刚石衬底的抛光装置是由林晓棋设计研发完成，并于2025-04-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种制造超薄单晶金刚石衬底的抛光装置在说明书摘要公布了：本实用新型提供了一种制造超薄单晶金刚石衬底的抛光装置，包括底座，所述底座的上方通过支架安装有二维驱动机构，所述二维驱动机构带动竖直电缸前后左右移动，所述竖直电缸的伸缩轴的下端安装有压力传感器，所述压力传感器的底部安装有安装板，所述安装板的底部安装有可拆卸的复合缓冲抛光头；所述复合缓冲抛光头的左右两侧安装有混合液喷头；本制造超薄单晶金刚石衬底的抛光装置，化学和机械协同抛光，柔性缓冲补偿：安装框矩形孔允许抛光头微量位移，消除局部应力集中，提升抛光均匀性，绿色制造特性，模块化维护：可拆卸复合缓冲抛光头与螺栓快换设计，方便维护。
本实用新型一种制造超薄单晶金刚石衬底的抛光装置在权利要求书中公布了：1.一种制造超薄单晶金刚石衬底的抛光装置，包括底座100，所述底座100的上方通过支架110安装有二维驱动机构200，所述底座100的顶部中部安装有真空吸附工作台120，其特征在于，所述二维驱动机构200带动竖直电缸300前后左右移动，所述竖直电缸300的伸缩轴的下端安装有压力传感器310，所述压力传感器310的底部安装有安装板400，所述安装板400的底部安装有可拆卸的复合缓冲抛光头420； 所述复合缓冲抛光头420的左右两侧安装有混合液喷头430； 还包括为所述混合液喷头430进行输液的供液系统。
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