中芯集成电路(宁波)有限公司于亚非获国家专利权
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龙图腾网获悉中芯集成电路(宁波)有限公司申请的专利膜支撑件及CMP抛光头获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223947635U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202423131380.0，技术领域涉及：B24B37/32；该实用新型膜支撑件及CMP抛光头是由于亚非;李烨;周相亚;金亮;杨玮设计研发完成，并于2024-12-18向国家知识产权局提交的专利申请。
本膜支撑件及CMP抛光头在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种膜支撑件及CMP抛光头，该膜支撑件包括：圆盘状主体，圆盘状主体具有第一表面、第二表面以及位于第一表面和第二表面之间的环形侧壁，第一表面为与弹性膜配合的工作面；圆盘状主体的中央区域设有多个呈间隔分布并贯穿圆盘状主体的圆形通气孔；圆盘状主体的边缘区域设有多个导气孔、第一导气槽和多个第二导气槽；多个导气孔贯穿圆盘状主体并沿圆盘状主体的周向间隔分布；第一导气槽呈环形，在第一表面的边缘沿圆盘状主体周向分布；导气孔位于第一导气槽的内侧，每个第二导气槽在第一表面连通一个导气孔和第一导气槽。本实用新型可提高CMP工艺对晶圆研磨的均匀性，改善晶圆CMP后的边缘形貌，提高晶圆的表面厚度均匀性。
本实用新型膜支撑件及CMP抛光头在权利要求书中公布了：1.一种膜支撑件，用于CMP抛光头，其特征在于，所述膜支撑件包括： 圆盘状主体，所述圆盘状主体具有第一表面、第二表面以及位于所述第一表面和第二表面之间的环形侧壁，所述第一表面为与弹性膜配合的工作面； 所述圆盘状主体的中央区域设有多个呈间隔分布并贯穿所述圆盘状主体的圆形通气孔； 所述圆盘状主体的边缘区域设有多个导气孔、第一导气槽和多个第二导气槽； 多个所述导气孔贯穿所述圆盘状主体并沿所述圆盘状主体的周向间隔分布； 所述第一导气槽呈环形，在所述第一表面的边缘沿所述圆盘状主体周向分布； 所述导气孔位于所述第一导气槽的内侧，每个所述第二导气槽在所述第一表面连通一个所述导气孔和所述第一导气槽。
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