镇江市德利克真空设备科技有限公司匡国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉镇江市德利克真空设备科技有限公司申请的专利一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951151U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422847468.6，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构是由匡国庆设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构。采用本实用新型的可调磁棒时，通过观察工件表面靶材沉积层的均匀性，当观察到工件表面某处的沉积层不均匀时，即表示可调磁棒对应区域的磁场不均匀，此时在磁控溅射设备不停机的情况下，通过程序控制对应区域的微型电机工作，微型电机带动螺纹套筒旋转，并使得与其螺纹连接述螺纹杆沿中心轴线移动，从而带动该区域的变形安装板变形，以调整该区域变形安装板上的磁块与靶材之间的距离；最后观察下一工件表面靶材沉积层的均匀性，以实现磁场在线调节的目的。与现有的可调磁棒产品相比，调节精度更高，且能够实现在线调节，降低靶材的浪费以及减少调节的时间。
本实用新型一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射设备用在线可调磁棒结构，其特征在于，包括壳体组件1、磁场组件2以及多个在线调节组件3； 所述磁场组件2设于所述壳体组件1一侧，并沿其长度方向布置； 多个所述在线调节组件3沿长度方向间隔安装于所述壳体组件1和所述磁场组件2之间；并且每个所述在线调节组件3均为单独控制，能够单独调节对应区域的磁场组件2。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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