镇江市德利克真空设备科技有限公司匡国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉镇江市德利克真空设备科技有限公司申请的专利一种旋转阴极磁棒调节机构获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951152U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202422847470.3，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种旋转阴极磁棒调节机构是由匡国庆设计研发完成，并于2024-11-21向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种旋转阴极磁棒调节机构在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种旋转阴极磁棒调节机构，包括多个安装于壳体组件与磁场组件之间的在线调节组件；多个所述在线调节组件沿长度方向间隔安装于所述壳体组件和所述磁场组件之间；并且每个所述在线调节组件均为单独控制，能够单独调节该区域的磁场组件。该旋转阴极磁棒调节机构在磁控溅射设备不停机的情况下，通过程序控制对应区域的微型电机工作，微型电机带动螺纹套筒旋转，并使得与其螺纹连接述螺纹杆沿中心轴线移动，从而带动该区域的变形安装板变形，以调整该区域变形安装板上的磁块与靶材之间的距离，以实现磁场在线调节的目的。与现有的旋转阴极磁棒产品相比，调节精度更高，且能够实现在线调节，降低靶材的浪费以及减少调节的时间。
本实用新型一种旋转阴极磁棒调节机构在权利要求书中公布了：1.一种旋转阴极磁棒调节机构，其特征在于，包括多个安装于壳体组件1与磁场组件2之间的在线调节组件3； 多个所述在线调节组件3沿长度方向间隔安装于所述壳体组件1和所述磁场组件2之间；并且每个所述在线调节组件3均为单独控制，能够单独调节对应区域的磁场组件2； 所述在线调节组件3包括微型电机31以及联动件32；所述微型电机31通过电机支架33固定安装于所述壳体组件1内，所述联动件32一端与所述微型电机31连接，另一端通过安装块34与所述磁场组件2相连；在所述微型电机31的作用下，由所述联动件32带动所述磁场组件2移动，从而调节该区域磁棒与靶材之间的距离。
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