中科纳微真空科技(合肥)有限公司杨先锋获国家专利权
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龙图腾网获悉中科纳微真空科技(合肥)有限公司申请的专利一种挡板可调式共溅射阴极获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951153U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520271170.7，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种挡板可调式共溅射阴极是由杨先锋;郭江涛;游锦山设计研发完成，并于2025-02-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种挡板可调式共溅射阴极在说明书摘要公布了：本实用新型提出了一种挡板可调式共溅射阴极，包括：磁控溅射腔室、以及安装于磁控溅射腔室内且数量在一个以上的靶阴极；每个靶阴极对应设置一个相应的挡板；每个挡板连接一个相应的调节组件，调节组件包括导向柱和套装在导向柱上的导向套，导向柱的一端与挡板连接，其另一端位于磁控溅射室的外部，导向套固定于磁控溅射室的壁面上。当需要单靶单独工作时，只需利用相应的调节组件将该靶阴极对应的挡板提起，以取消对该靶阴极的遮挡，同时由相应的调节组件使其他靶阴极分别由对应的挡板对进行遮挡，以防止非工作状态的靶阴极被工作中的靶阴极污染。整个操作可直接在磁控溅射室的外部完成，无需停止作业，从而能够有效提高工作效率和操作安全性。
本实用新型一种挡板可调式共溅射阴极在权利要求书中公布了：1.一种挡板可调式共溅射阴极，其特征在于，包括：磁控溅射腔室、以及安装于磁控溅射腔室内且数量在一个以上的靶阴极1； 每个靶阴极1对应设置一个相应的挡板2，以对靶阴极1进行遮挡覆盖；每个挡板2连接一个相应的调节组件，所述调节组件包括导向柱3和套装在导向柱3上的导向套4，导向柱3的一端与挡板2连接，其另一端位于磁控溅射室的外部，导向套4固定于磁控溅射室的壁面上。
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