东莞市美尚美电子科技有限公司陈昇获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞市美尚美电子科技有限公司申请的专利一种磁控溅射镀膜工艺用的均匀镀膜设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951155U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520324758.4，技术领域涉及：C23C14/35；该实用新型一种磁控溅射镀膜工艺用的均匀镀膜设备是由陈昇;王鑫宇设计研发完成，并于2025-02-27向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种磁控溅射镀膜工艺用的均匀镀膜设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种磁控溅射镀膜工艺用的均匀镀膜设备，包括镀膜箱，所述镀膜箱的上表面固定安装有真空泵，所述真空泵的输出端固定连通有真空管，所述真空管的底端与镀膜箱的上表面相连通，所述镀膜箱的内壁固定镶嵌有相对称的第一轴承，两个所述第一轴承的内圈共同固定连接有放卷辊，所述镀膜箱的内壁固定镶嵌有第二轴承。本装置通过第一轴承和放卷辊的配合，可以放置待加工的卷材，通过第二轴承和收卷辊的配合，可以将镀膜完成后的卷材进行收纳，通过真空泵和真空管的配合，可以将镀膜箱形成真空空间，通过驱动电机、第三轴承和螺纹杆的配合，可以调节调节台的高度，从而调节靶体与待加工卷材的间距，从而稳定卷材镀膜的效果。
本实用新型一种磁控溅射镀膜工艺用的均匀镀膜设备在权利要求书中公布了：1.一种磁控溅射镀膜工艺用的均匀镀膜设备，其特征在于：包括镀膜箱1，所述镀膜箱1的上表面固定安装有真空泵3，所述真空泵3的输出端固定连通有真空管4，所述真空管4的底端与镀膜箱1的上表面相连通，所述镀膜箱1的内壁固定镶嵌有相对称的第一轴承6，两个所述第一轴承6的内圈共同固定连接有放卷辊7，所述镀膜箱1的内壁固定镶嵌有第二轴承8，两个所述第二轴承8的内圈共同固定连接有收卷辊9，所述镀膜箱1的内壁固定镶嵌有相对称的辅助杆12，所述镀膜箱1的底面固定安装有驱动电机14，所述镀膜箱1的内底壁固定镶嵌有第三轴承15，所述第三轴承15的内圈固定连接有螺纹杆16，所述驱动电机14的输出端通过第三轴承15与螺纹杆16的底端相连接，所述螺纹杆16的外表面螺纹连接有调节台10，所述调节台10的上表面设有靶体11。
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