深圳昌昇源科技有限公司郭祈志获国家专利权
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龙图腾网获悉深圳昌昇源科技有限公司申请的专利一种可靠的磁控溅射镀膜装置获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223951156U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520370288.5,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种可靠的磁控溅射镀膜装置是由郭祈志;刘建成;林发华;林发忠;林兆宁设计研发完成,并于2025-03-05向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种可靠的磁控溅射镀膜装置在说明书摘要公布了:本实用新型涉及磁控镀膜技术领域,具体为一种可靠的磁控溅射镀膜装置,包括底座、控制台和镀膜盒,所述镀膜盒内设置有无上侧壁的空腔,所述镀膜盒上侧壁设置有与之适配的保护盖,所述保护盖与所述空腔内均设置有调节装置,所述调节装置包括转动杆、滑块和滑动板,上端的所述滑块底壁设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆底壁设置有靶材,下端的所述滑块上侧壁设置有连接盒,所述连接盒上端设置有旋转杆,所述旋转杆上端设置有放置板,所述放置板上侧壁四角设置有固定板,所述固定板一端设置有弹簧,所述弹簧一端设置有限位板,不仅满足了不同形状和尺寸基材的镀膜需求,还提高了镀膜过程的灵活性和精度。
本实用新型一种可靠的磁控溅射镀膜装置在权利要求书中公布了:1.一种可靠的磁控溅射镀膜装置,包括底座2、控制台7和镀膜盒1,其特征在于:所述控制台7在所述底座2上侧壁一端,所述镀膜盒1在所述底座2上侧壁另一端,所述控制台7与所述镀膜盒1信号连接,所述镀膜盒1内设置有无上侧壁的空腔,所述镀膜盒1上侧壁设置有与之适配的保护盖4,所述保护盖4与所述空腔内均设置有调节装置,所述调节装置包括转动杆10、滑块15和滑动板11,所述转动杆10贯穿所述保护盖4上侧与所述镀膜盒1底壁,所述滑块15在所述转动杆10上并与其螺纹连接,所述滑动板11对称布置在所述转动杆10两侧并与所述滑块15侧壁贴合,所述保护盖4与所述镀膜盒1侧壁均设置有第一电机3,所述转动杆10贯穿所述保护盖4与所述镀膜盒1并与对应的所述第一电机3输出端连接,上端的所述滑块15底壁设置有电动伸缩杆13,所述电动伸缩杆13底壁设置有靶材14,下端的所述滑块15上侧壁设置有连接盒21,所述连接盒21上端设置有旋转杆20,所述旋转杆20上端设置有放置板12,所述放置板12上侧壁四角设置有固定板16,所述固定板16一端设置有弹簧17,所述弹簧17一端设置有限位板18,所述镀膜盒1侧壁设置有电流装置和真空装置。
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