镇江市德利克真空设备科技有限公司匡国庆获国家专利权
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龙图腾网获悉镇江市德利克真空设备科技有限公司申请的专利一种不锈钢靶芯中的磁铁布设结构获国家实用新型专利权,本实用新型专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN223951158U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉:该实用新型的专利申请号/专利号为:202520486310.2,技术领域涉及:C23C14/35;该实用新型一种不锈钢靶芯中的磁铁布设结构是由匡国庆设计研发完成,并于2025-03-19向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种不锈钢靶芯中的磁铁布设结构在说明书摘要公布了:本实用新型公开一种不锈钢靶芯中的磁铁布设结构,包括水平布设于靶芯内部的磁靴,在所述磁靴上布设有N极磁条和S极磁条;所述N极磁条位于所述磁靴中部,并沿其长度方向延伸;所述S极磁条设有两条,分布于所述磁靴两侧,两条所述S极磁条的中部与所述N极磁条等间距平行分布,而两端逐步靠近所述N极磁条。本实用新型在不锈钢靶芯中使用不同尺寸与数量的S极磁块改善靶芯端头位置的磁场分布,减弱传统靶芯结构造成刻蚀区域内的水平磁场强度,极大的减弱靶材端头位置的过度刻蚀现象,提高靶材利用率。
本实用新型一种不锈钢靶芯中的磁铁布设结构在权利要求书中公布了:1.一种不锈钢靶芯中的磁铁布设结构,其特征在于,包括水平布设于靶芯100内部的磁靴1,在所述磁靴1上布设有N极磁条2和S极磁条3; 所述N极磁条2位于所述磁靴1中部,并沿其长度方向延伸; 所述S极磁条3设有两条,分布于所述磁靴1两侧,两条所述S极磁条3的中部与所述N极磁条2等间距平行分布,而两端逐步靠近所述N极磁条2。
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