中国电子科技集团公司第四十八研究所何秋福获国家专利权
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龙图腾网获悉中国电子科技集团公司第四十八研究所申请的专利一种高温镀膜工件台获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951159U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520325546.8，技术领域涉及：C23C14/50；该实用新型一种高温镀膜工件台是由何秋福;袁祖浩;龚俊;李勇;刘杰;肖晓雨设计研发完成，并于2025-02-26向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种高温镀膜工件台在说明书摘要公布了：本实用新型公开一种高温镀膜工件台，包括：安装法兰、驱动机构、齿轮传动机构、水冷回转机构和基片架，齿轮传动机构包括相互啮合的主动齿轮和从动齿轮；安装法兰内设有冷却流道，安装法兰与镀膜腔体密封连接，驱动机构设置在安装法兰上，且驱动机构的输出端密封延伸至镀膜腔体内，并与主动齿轮连接，从动齿轮嵌套在水冷回转机构外侧，水冷回转机构的一端与安装法兰内侧连接，另一端与承载基片的基片架连接；当驱动机构驱动主动齿轮转动时，从动齿轮带动水冷回转机构和基片架旋转，实现基片在镀膜腔体内转动。本实用新型具有结构紧凑、拆装便捷、可靠性高等特点，且能够适用于350℃以上的温度环境，很好地满足了lift‑off工艺的需求。
本实用新型一种高温镀膜工件台在权利要求书中公布了：1.一种高温镀膜工件台，其特征在于，包括：安装法兰1、驱动机构2、齿轮传动机构3、水冷回转机构4和基片架5，所述齿轮传动机构3包括相互啮合的主动齿轮31和从动齿轮32；所述安装法兰1内部设有冷却流道，安装法兰1与镀膜腔体密封连接，所述驱动机构2设置在安装法兰1上，且驱动机构2的输出端密封延伸至镀膜腔体内，并与主动齿轮31连接，所述从动齿轮32嵌套在水冷回转机构4外侧，所述水冷回转机构4的一端与安装法兰1内侧连接，水冷回转机构4的另一端与基片架5连接，所述基片架5用于承载基片；当驱动机构2驱动主动齿轮31转动时，从动齿轮32带动水冷回转机构4和基片架5旋转，以实现基片在镀膜腔体内转动。
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