湖南红太阳光电科技有限公司张单辉获国家专利权
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龙图腾网获悉湖南红太阳光电科技有限公司申请的专利一种自动调节水汽含量的PVD设备获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN223951163U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2026-02-27发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202520532593.X，技术领域涉及：C23C14/54；该实用新型一种自动调节水汽含量的PVD设备是由张单辉;彭宜昌;周奇瑞;陈伟华设计研发完成，并于2025-03-24向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种自动调节水汽含量的PVD设备在说明书摘要公布了：本实用新型公开了一种自动调节水汽含量的PVD设备，包括：反应腔体、数据终端、残余气体分析仪和水汽发生机构；所述残余气体分析仪和水汽发生机构均与数据终端连接，所述反应腔体分别与残余气体分析仪和水汽发生机构连接，所述残余气体分析仪用于监测反应腔体内的水汽含量，并将水汽含量数据传输至数据终端，所述数据终端根据残余气体分析仪反馈的水汽含量数据，控制水汽发生机构自动输送水汽至反应腔体内。本实用新型具有结构紧凑、维护便捷、自动化程度高等特点，通过对水汽量化控制，获得最佳工艺窗口，从而使得不同批次的薄膜沉积更加均匀，不同批次的薄膜性能也更为稳定，显著提高了PVD工序的工作稳定性及效率。
本实用新型一种自动调节水汽含量的PVD设备在权利要求书中公布了：1.一种自动调节水汽含量的PVD设备，其特征在于，包括：反应腔体13、数据终端23、残余气体分析仪24和水汽发生机构300；所述残余气体分析仪24和水汽发生机构300均与数据终端23连接，所述反应腔体13分别与残余气体分析仪24和水汽发生机构300连接，所述残余气体分析仪24用于监测反应腔体13内的水汽含量，并将水汽含量数据传输至数据终端23，所述数据终端23根据残余气体分析仪24反馈的水汽含量数据，控制水汽发生机构300自动输送水汽至反应腔体13内。
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